四川阿格瑞新材料有限公司李云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉四川阿格瑞新材料有限公司申请的专利蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005112B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211555272.9，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法是由李云飞;王煦;张悦;吴义超;岳小非;戴雷;蔡丽菲设计研发完成，并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法，属于真空镀膜技术领域。其中，蒸发源装置包括旋转台和蒸发源单元，所述蒸发源单元设有多个并圆周设在所述旋转台上，所述蒸发源单元包括用于收容坩埚的壳体；所述蒸发源装置还包括遮挡件；所述遮挡件与所述旋转台可拆连接，所述遮挡件与任一所述蒸发源单元呈上下相对设置；所述遮挡件设有贯穿上下的通孔，所述壳体的上端相对于所述通孔凸出设置，且所述壳体的外周面与所述通孔的内周面连接。本发明结构新颖，设计独特，成本低，能够解决同一蒸发源单元在进行前后两次材料蒸发镀膜时发生材料交叉污染的问题，从而有助提升器件的寿命和性能。
本发明授权蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸发源装置，包括旋转台和蒸发源单元，所述蒸发源单元设有多个并圆周设在所述旋转台上，所述蒸发源单元包括用于收容坩埚的壳体；其特征在于，所述蒸发源装置还包括遮挡件；所述遮挡件与所述旋转台可拆连接，所述遮挡件与任一所述蒸发源单元呈上下相对设置；所述遮挡件设有贯穿上下的通孔，所述壳体内中空形成有容纳槽，所述容纳槽的上端为开口结构，以将坩埚置于所述容纳槽，所述壳体的上端相对于所述通孔凸出设置，以使坩埚的开口能从所述通孔凸出，且所述壳体的外周面与所述通孔的内周面连接；所述遮挡件覆盖设在所述蒸发源单元除所述壳体之外的区域； 所述遮挡件设有多个且圆周设在所述旋转台上，多个所述遮挡件与多个所述蒸发源单元一一对应，相邻两个所述遮挡件相接。
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