上海哥瑞利软件股份有限公司高超获国家专利权
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龙图腾网获悉上海哥瑞利软件股份有限公司申请的专利半导体12寸N2STK气体浓度及气压数据的监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211263699.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体12寸N2STK气体浓度及气压数据的监测方法是由高超设计研发完成，并于2022-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体12寸N2STK气体浓度及气压数据的监测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体12寸N2STK气体浓度及气压数据的监测方法，由MCS系统根据晶圆产品要求的充氮时间进行全面监控，并在S晶圆存放超过既定时间自动补氮，具体步骤包括：FOUP晶圆入N2STK,MCS向MES询问晶圆充氮时间和最长补氮间隔时间；MES回复充氮时间，晶圆入库后开始充氮；MCS开始充氮计时，期间若有晶圆出库或移库需求，MCS会拒绝执行，禁止出库或移库；若该晶圆在N2STK内长时间存放，MCS会再次下发充氮指令，对该晶圆进行充氮操作；充氮完成后，该晶圆可以进行出库操作，去往下一道制程。本发明整个流程只跨越三个系统，精简了流程处理所对接系统的数量，提升流程处理效率。
本发明授权半导体12寸N2STK气体浓度及气压数据的监测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体12寸晶圆存储系统N2STK气体浓度及气压数据的监测方法，其特征在于，由制造物料搬运系统MCS根据晶圆产品要求的充氮时间进行全面监控，并在S晶圆存放超过既定时间自动补氮，具体步骤如下： （1）FOUP晶圆入晶圆存储系统N2STK,制造物料搬运系统MCS向制造信息管理系统MES询问晶圆充氮时间和最长补氮间隔时间； （2）制造信息管理系统MES回复充氮时间，晶圆入库后开始充氮； （3）制造物料搬运系统MCS开始充氮计时，期间若有晶圆出库或移库需求，制造物料搬运系统MCS会拒绝执行，此时晶圆存储系统N2STK会报异常，以提示人员该晶圆正在充氮，禁止出库或移库； （4）若该晶圆在晶圆存储系统N2STK内长时间存放，充氮完成后已经触发最长补氮间隔时间，制造物料搬运系统MCS会再次下发充氮指令，对该晶圆进行充氮操作； （5）充氮完成后，该晶圆可以进行出库操作，去往下一道制程。
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