华南理工大学李天获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种投影光刻莫尔对准装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115561979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211207341.7，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种投影光刻莫尔对准装置及方法是由李天;周绍林;陈志坚;李斌设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种投影光刻莫尔对准装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种投影光刻莫尔对准装置及，其中装置包括：照明系统、掩模标记、光刻投影物镜、对准标记、DMD空间调制器、CCD相机和传感器运动台；照明系统发射光线，光线穿过掩模标记后，经过光刻投影物镜形成空间像；通过控制传感器运动台的移动寻找空间像的位置，以使经过对准标记的光线产生衍射，形成莫尔条纹；莫尔条纹到达DMD空间调制器，进行编码；编码后的莫尔条纹到达CCD相机，根据采集获得的光强信息重构莫尔条纹；根据重构的莫尔条纹获取理想成像与实际成像的位置偏差，将位置偏差量反馈回传感器运动台进行修正，实现对准。本发明无需空间滤波片，光学系统更为简单，降低了硬件成本，可广泛应用于光学精密检测技术领域。
本发明授权一种投影光刻莫尔对准装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种投影光刻莫尔对准装置，其特征在于，包括：照明系统、掩模标记、光刻投影物镜、对准标记、DMD空间调制器、CCD相机和传感器运动台；所述对准标记、DMD空间调制器和CCD相机设置在传感器运动台上； 照明系统发射光线，光线穿过掩模标记后，经过光刻投影物镜形成空间像；通过控制传感器运动台的移动寻找空间像的位置，以使空间像与对准标记发生衍射，形成莫尔条纹；莫尔条纹到达DMD空间调制器，进行编码；编码后的莫尔条纹到达CCD相机，根据采集获得的信息重构莫尔条纹；根据重构的莫尔条纹获取理想成像与实际成像的位置偏差，将位置偏差量反馈回传感器运动台进行修正，实现对准。
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