天狼芯半导体(成都)有限公司刘涛获国家专利权
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龙图腾网获悉天狼芯半导体(成都)有限公司申请的专利一种具有金属场板的LDMOS器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115332351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211030595.6,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权一种具有金属场板的LDMOS器件及其制备方法是由刘涛;黄汇钦设计研发完成,并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有金属场板的LDMOS器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请属于半导体技术领域,提供了一种具有金属场板的LDMOS器件及其制备方法,该LDMOS器件包括:半导体衬底、埋氧区、漂移区、漏极区、P型阱区、源极区、P型基区、钝化层、栅极区、栅极扩展区、多个金属场板、源极电极、漏极电极以及栅极电极;通过在埋氧区和漂移区之间的界面位置设置多个金属场板,使得每个金属场板对应的产生一个电场尖峰,从而在漂移区的底部形成多个高电场,不仅可以提升器件的纵向耐压,还可以利用多个电场尖峰提高LDMOS器件的表面电场,使得横向电场分布更加均匀,提高横向耐压,通过栅极扩展区设置可以在漂移区上方形成低电阻的电子通道,进而减小LDMOS器件导通电阻,实现在提升器件击穿电压的基础上降低器件的导通电阻的目的。
本发明授权一种具有金属场板的LDMOS器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有金属场板的LDMOS器件,其特征在于,所述LDMOS器件包括: 半导体衬底; 埋氧区,设于所述半导体衬底上; 漂移区,设于所述埋氧区上;其中,所述漂移区呈“L”型结构; 漏极区,设于所述漂移区的水平部上; P型阱区,设于所述埋氧区上,且与所述漂移区接触;其中,所述P型阱区呈“L”型结构; 源极区,设于所述P型阱区的水平部上; P型基区,设于所述埋氧区上,且分别与所述P型阱区和所述源极区接触; 钝化层,设于所述源极区、所述P型阱区以及所述漂移区上;其中,所述钝化层呈“L”型结构; 栅极区,设于所述钝化层的水平部上,且与所述钝化层的垂直部接触; 栅极扩展区,设于所述钝化层的水平部上,且与所述栅极区接触; 多个金属场板,多个所述金属场板分别设于所述漂移区底部,且分别与所述埋氧区接触; 源极电极,与所述源极区接触; 漏极电极,与所述漏极区接触; 栅极电极,与所述栅极区接触。
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