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细美事有限公司姜汉林获国家专利权

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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利弯月面测量装置及方法、基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115718107B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210946683.4,技术领域涉及:G01N21/956;该发明授权弯月面测量装置及方法、基板处理装置是由姜汉林;张硕元;李载德;陈元镛设计研发完成,并于2022-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

弯月面测量装置及方法、基板处理装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括:提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元;使膜与所述多个喷嘴密接,使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上,从而在所述膜上形成检测图案;以及基于所述检测图案,测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。

本发明授权弯月面测量装置及方法、基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种弯月面测量方法,包括: 提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元; 使膜与所述多个喷嘴密接,使得在所述喷嘴不喷出墨的状态下残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上,从而在所述膜上形成检测图案;以及 基于所述检测图案,测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面, 所述检测图案包括彼此隔开的多个墨标记,所述多个墨标记对应于所述多个喷嘴, 测量残留的所述墨的弯月面包括:测量所述墨标记的尺寸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司,其通讯地址为:韩国忠清南道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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