英诺赛科(苏州)半导体有限公司刘睿获国家专利权
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龙图腾网获悉英诺赛科(苏州)半导体有限公司申请的专利化学品供应装置及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116097000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280004498.1，技术领域涉及：F04B53/16；该发明授权化学品供应装置及其操作方法是由刘睿设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学品供应装置及其操作方法在说明书摘要公布了：一种化学品供应装置，其包括保护结构、蠕动泵以及流体管。保护结构具有第一开口以及第二开口，且第二开口位于第一开口上方。蠕动泵配置于保护结构上。流体管配置于保护结构以及蠕动泵中。第一开口以及第二开口朝向相同的方向。流体管连接第一开口以及第二开口。蠕动泵用以控制流体管中的溶液。保护结构适于覆盖化学溶液容器的出口。本公开还提供了一种化学品供应装置的操作方法。
本发明授权化学品供应装置及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种化学品供应装置，其特征在于，包括： 保护结构，具有： 第一开口；以及 第二开口，位于所述第一开口上方； 蠕动泵，配置在所述保护结构上；以及 流体管，配置在所述保护结构以及所述蠕动泵中； 其中所述第一开口以及所述第二开口朝向相同的方向； 其中所述流体管连接所述第一开口以及所述第二开口，具有设置于第一开口处的进液端以及设置于第二开口处的出液端，用以输送流体通过第一开口、保护结构以及蠕动泵，并自第二开口释放； 其中所述蠕动泵用以控制所述流体管中的流体； 其中所述保护结构适于覆盖化学溶液容器的出口； 其中所述保护结构包括： 第一中空部； 第二中空部，耦接所述第一中空部； 第三中空部，连接所述第二中空部；以及 第四中空部，连接所述第三中空部； 其中所述第一开口位于所述第一中空部上，所述第二开口位于所述第四中空部上； 其中所述第二中空部适于进入所述第一中空部； 其中，当所述第二中空部未进入所述第一中空部时，所述流体管的进液端收容在所述第一中空部内；当所述第二中空部进入所述第一中空部时，所述第三中空部覆盖所述第一中空部的顶部，且所述流体管的进液端自所述第一中空部和所述第一开口伸出。
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