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安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司甘志金获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆再生用多角度可调的夹盘获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115547902B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210614266.X,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶圆再生用多角度可调的夹盘是由甘志金;徐锐设计研发完成,并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆再生用多角度可调的夹盘在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆技术领域,具体是一种晶圆再生用多角度可调的夹盘,底座,还包括限位机构、移位机构、翻转调节机构和调节支撑机构,所述限位机构固定安装在底座顶部,所述限位机构包括操作台,本发明通过设置有移位机构、提升机构和调节支撑机构,当晶圆片夹持固定好之后,需要将晶圆片进行提升,打开伺服电机使伺服电机带动螺纹杆通过第一旋转块进行旋转,从而带动滑台沿着螺纹杆向前移动,滑台的移动带动一个第一电动升降套杆向内进行移动,可以更加便捷的对第一电动升降套杆的位置进行调节移动,使装置控制更加的精确,操作更加的快便捷,从而对第一固定环和第二固定环进行挤压,第一固定环和第二固定环之间通过销轴铰接。

本发明授权一种晶圆再生用多角度可调的夹盘在权利要求书中公布了:1.一种晶圆再生用多角度可调的夹盘,包括底座(1),其特征在于:还包括限位机构(2)、移位机构(5)、翻转调节机构(6)和调节支撑机构(9),所述限位机构(2)固定安装在底座(1)顶部,所述限位机构(2)包括操作台(23),所述操作台(23)顶部固定安装有上料机构(3),所述上料机构(3)顶部固定安装有支撑防滑机构(4),所述移位机构(5)固定安装在操作台(23)顶部一侧,所述翻转调节机构(6)固定安装在底座(1)顶部使,所述翻转调节机构(6)内侧固定安装有提升机构(7),所述提升机构(7)包括两个分别固定安装在翻转调节机构(6)内侧的合页(71)、固定安装在一个合页(71)一侧的第一固定环(72)、两个分别固定安装在第一固定环(72)两侧的销轴(73)和通过两个销轴(73)铰接与第一固定环(72)一侧的第二固定环(74),所述第二固定环(74)内侧设置有旋转夹持机构(8),所述调节支撑机构(9)设置在翻转调节机构(6)内侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司,其通讯地址为:244000 安徽省铜陵市义安区南海路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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