杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223848B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210424527.1，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由白承大;许金东;李强圆;孔云设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置的特征在于，包括：吸入喷嘴部，用于在杯形外罩吸入沉淀物；流动管线部，与吸入喷嘴部连接，以使沉淀物和药液流动；吸入罐部，与流动管线部连接，以使沉淀物和药液流入；以及喷射器部，设置在流动管线部，以在吸入喷嘴部和流动管线部形成吸入压力。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 吸入喷嘴部，用于在杯形外罩吸入沉淀物； 流动管线部，与所述吸入喷嘴部连接，以使所述沉淀物和药液流动； 吸入罐部，与所述流动管线部连接，以使所述沉淀物和所述药液流入；以及 喷射器部，设置在所述流动管线部，以在所述吸入喷嘴部和所述流动管线部形成吸入压力， 所述吸入罐部包括： 吸入罐主体部，与所述流动管线部连接；以及 排放部，与所述吸入罐主体部连接，以排出过滤部中过滤的所述药液， 所述基板处理装置还包括： 溢流管线部，连接在所述吸入罐主体部和所述排放部；以及 溢流检测部，用于检测所述吸入罐主体部的所述药液流入到所述溢流管线部。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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