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龙图腾网获悉无锡展硕科技有限公司申请的专利一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496879B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210133480.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构是由张虎设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构，其技术方案要点是：包括支撑盘，所述支撑盘的底部固定有支撑板，所述支撑板的两侧固定有第一承托板和第二承托板，所述支撑板上方对称设置有两组拨动结构，所述支撑板上设置有控制两组所述拨动结构相互靠近或远离的动力组件，所述第一承托板上设置有限位组件，所述第二承托板上方安装有视觉定位摄像头，所述第二承托板上还设置有控制调整所述视觉定位摄像头的高度和转动位置的调整组件，所述支撑板的底部固定有匚形座，所述匚形座的底部固定有固定座，所述固定座的底部设置有驱动所述固定座调高的调高组件；本降低薄膜缺陷的晶圆定位结构具有定位可靠和方便的优点。

本发明授权一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构在权利要求书中公布了：1.一种降低薄膜缺陷的晶圆定位结构，包括支撑盘1，其特征在于：所述支撑盘1的底部固定有支撑板11，所述支撑板11的两侧固定有第一承托板12和第二承托板13，所述支撑板11上方对称设置有两组拨动结构2，所述支撑板11上设置有控制两组所述拨动结构2相互靠近或远离的动力组件3，所述第一承托板12上设置有限位组件4，所述第二承托板13上方安装有视觉定位摄像头14，所述第二承托板13上还设置有控制调整所述视觉定位摄像头14的高度和转动位置的调整组件5，所述支撑板11的底部固定有匸形座15，所述匸形座15的底部固定有固定座16，所述固定座16的底部设置有驱动所述固定座16调高的调高组件6，所述支撑盘1的底部设置有负压组件7； 所述拨动结构2包括滑动座21、第一立板22和侧推滚轮23，所述滑动座21滑动连接在所述支撑板11上方，所述第一立板22固定在所述滑动座21上方，所述侧推滚轮23通过轴承转动连接在所述第一立板22内； 所述动力组件3包括滑动槽31、滑动块32、双向螺杆33、第一锥形齿轮34、第二锥形齿轮35、支撑轴36、轴承座37和第一伺服电机38，所述滑动槽31开设在所述支撑板11顶部，所述滑动块32水平滑动连接在所述滑动槽31内，所述滑动块32固定在所述滑动座21底部，所述双向螺杆33转动连接在所述滑动槽31内，所述双向螺杆33与所述滑动块32螺纹连接，所述第一锥形齿轮34固定在所述双向螺杆33的外部，所述轴承座37固定在所述支撑板11的底部，所述第二锥形齿轮35固定在所述支撑轴36的外部，所述支撑轴36转动连接在所述轴承座37内，所述第一伺服电机38固定在所述支撑板11上带动所述支撑轴36转动； 所述限位组件4包括第一滑动筒41、第一气缸42、限位座43和限位轮44，所述第一滑动筒41水平滑动连接在所述第一承托板12的外部，所述第一气缸42的缸体固定在所述第一滑动筒41内，所述第一气缸42的活塞杆端部固定在所述第一承托板12端部，所述限位座43固定在所述第一滑动筒41上，所述限位轮44通过轴承转动连接在所述限位座43上； 所述调整组件5包括第二滑动筒51、第二气缸52、第二伺服电机53、侧立板54和顶固板55，所述第二滑动筒51水平滑动连接在所述第二承托板13的外部，所述第二气缸52的缸体固定在所述第二滑动筒51内部，所述第二气缸52的活塞杆端部与所述第二承托板13端部连接，所述第二伺服电机53固定在所述第二滑动筒51上，所述侧立板54固定在所述第二伺服电机53的电机轴端部，所述顶固板55固定在所述侧立板54的顶端，所述视觉定位摄像头14固定在所述顶固板55上； 所述调高组件6包括固定柱61、固定筒62、第三伺服电机63和丝杠64，所述固定柱61固定在所述固定柱61底部，所述固定筒62设置在所述固定柱61外部，所述第三伺服电机63固定在所述固定筒62内部，所述丝杠64的一端通过联轴器与所述第三伺服电机63的电机轴连接，所述丝杠64与所述固定柱61之间螺纹连接。

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