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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551310B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210104620.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法是由张贤龙;川辺哲也;刘恩龙;乐佳浩;马刚;曹洁设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装方法，包括如下步骤：S01：将固定块通过第一定位单元固定在承载基座中，所述固定块内部包括中空腔室；S02：将电机输出轴伸入所述中空腔室，确保电机输出轴在旋转过程与所述固定块的内壁不接触；S03：将第一定位单元中的固定块拆卸，并将晶圆模拟圆盘通过第一定位单元固定在承载基座中；S04：在所述晶圆模拟圆盘外侧安装翻转组件，所述电机输出轴固定连接所述翻转组件，并且所述电机输出轴的轴心线、所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合。本发明大大提高了晶圆翻转装置的组装效率，推进了晶圆传输领域的进一步发展。

本发明授权一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装方法，其特征在于，包括如下步骤： S01：将固定块通过第一定位单元固定在承载基座中，所述固定块内部包括中空腔室；其中所述第一定位单元包括：第一定位槽和第一定位销，所述第一定位销均匀分布在所述第一定位槽的周边，所述固定块嵌入至第一定位槽中，以固定在承载基座中； S02：将电机输出轴伸入所述中空腔室，并调整电机位置，确保电机输出轴在旋转过程与所述固定块的内壁不接触；将调整后的电机固定在电机基座中； S03：将第一定位槽中的固定块拆卸，并将晶圆模拟圆盘通过第一定位销固定在承载基座中；其中，所述第一定位槽与第一定位销在所述电机输出轴延伸方向上的中心线重合，所述电机输出轴的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合； S04：在承载基座的两侧安装左固定件和右固定件，所述左固定件和右固定件的中心连线垂直于翻转组件的轴心线；在所述晶圆模拟圆盘外侧经左固定件和右固定件限位安装翻转组件，所述电机输出轴固定连接所述翻转组件，并且所述电机输出轴的轴心线、所述翻转组件的轴心线与所述晶圆模拟圆盘的其中一条直径重合。

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