光驰科技(上海)有限公司黄永长获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种真空镀膜装置及真空镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116254507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111509133.8，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权一种真空镀膜装置及真空镀膜方法是由黄永长;龙汝磊;吴萍设计研发完成，并于2021-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜装置及真空镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种真空镀膜装置及真空镀膜方法。其中真空镀膜装置包括镀膜机构和膜料承载件搬运机构，镀膜机构包括用于镀膜的镀膜腔和用于盛放膜料承载件的第一搬运腔，镀膜腔和第一搬运腔通过第一真空阀门选择性连通，镀膜腔内还设置有第二放置位，第二放置位用于容置膜料承载件；膜料承载件搬运机构设置于第一搬运腔，包括放置台、抓取模组和移动模组，放置台用于容置膜料承载件，其上设置有第一操作位，抓取模组用于在第一操作位抓取膜料承载件，移动模组用于驱动抓取模组由第一操作位向第二放置位搬运膜料承载件。本发明的真空镀膜装置的真空腔室占地面积小，生产效率高，减少了装置制作成本和能源的消耗。
本发明授权一种真空镀膜装置及真空镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括： 镀膜机构300，包括用于镀膜的镀膜腔310和用于盛放膜料承载件200的第一搬运腔320，所述镀膜腔310和所述第一搬运腔320通过第一真空阀门330选择性连通，所述镀膜腔310内还设置有第二操作位3112，所述第二操作位3112用于容置所述膜料承载件200； 膜料承载件搬运机构100，设置于所述第一搬运腔320，包括放置台110、抓取模组120和移动模组150，所述放置台110用于容置所述膜料承载件200，其上设置有第一操作位，所述抓取模组120用于在所述第一操作位抓取所述膜料承载件200，所述移动模组150用于驱动所述抓取模组120由所述第一操作位向所述第二操作位3112搬运所述膜料承载件200； 所述镀膜腔310内设置有镀膜平台311，所述镀膜平台311上设置有多个第二放置位，靠近所述第一搬运腔320的所述第二放置位为所述第二操作位3112。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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