旭化成株式会社加持义贵获国家专利权
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龙图腾网获悉旭化成株式会社申请的专利感光性元件及抗蚀图案的形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115398337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180025576.1，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权感光性元件及抗蚀图案的形成方法是由加持义贵设计研发完成，并于2021-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性元件及抗蚀图案的形成方法在说明书摘要公布了：提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜A、感光性树脂组合物层B和保护膜C，JISB0601‑2001中规定的、支承膜A的与感光性树脂组合物层B接触侧的表面的表面粗糙度RzA1nm、相反侧的表面的表面粗糙度RzA2nm、保护膜C的与感光性树脂组合物层B接触侧的表面的表面粗糙度RzC1nm、相反侧的表面的表面粗糙度RzC2nm满足以下的1～3：11RzA1100、2300RzC1600、340RzC2RzA2。
本发明授权感光性元件及抗蚀图案的形成方法在权利要求书中公布了：1.一种感光性元件，其特征在于， 其依次具有支承膜A、感光性树脂组合物层B和保护膜C， JISB0601-2001中规定的、所述支承膜A的与所述感光性树脂组合物层B接触侧的表面的表面粗糙度RzA1、相反侧的表面的表面粗糙度RzA2、所述保护膜C的与所述感光性树脂组合物层B接触侧的表面的表面粗糙度RzC1、和相反侧的表面的表面粗糙度RzC2满足以下的1～3： 11RzA1100 2300RzC1600 340RzC2RzA2， 并且满足400RzC25500以及1RzA2， 其中，所述RzA1、所述RzA2、所述RzC1和所述RzC2的单位为nm， 所述表面粗糙度为基于JISB0601-2001中规定的方法测定得到的最大高度Rz。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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