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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利工件的清洗处理方法及工件的清洗处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116250062B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180058913.7，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权工件的清洗处理方法及工件的清洗处理系统是由野田魁人;若杉胜郎;兼子优起;岩崎史利;蛇川顺博设计研发完成，并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本工件的清洗处理方法及工件的清洗处理系统在说明书摘要公布了：在本发明的工件的清洗处理方法及系统中，上侧整流板的孔的直径比下侧整流板的孔的直径小。在本发明的工件的清洗处理方法中，根据下侧整流板的多个孔的面积的总和Amm2及上侧整流板的多个孔的面积的总和Bmm2，确定清洗液的供给流量QLmin，或者，根据供给流量QLmin，确定面积的总和Amm2和或面积的总和Bmm2。本发明的工件的清洗处理系统还具备：计算部，根据面积的总和Amm2及面积的总和Bm2，确定清洗液的供给流量QLmin；及控制部，控制成以已确定的供给流量QLmin供给清洗液。面积的总和Amm2、面积的总和Bmm2以及已确定的供给流量QLmin，或者供给流量QLmin以及已确定的面积的总和Amm2和或面积的总和Bmm2满足规定关系式。

本发明授权工件的清洗处理方法及工件的清洗处理系统在权利要求书中公布了：1.一种工件的清洗处理方法，其包含以下的工序： 准备清洗槽的工序； 在所述清洗槽内设置工件的工序；以及 从设置在所述清洗槽的底部的清洗液供给口向所述清洗槽内供给清洗液来对所述工件进行清洗处理的工序； 所述工件的清洗处理方法的特征在于： 在设置所述工件的位置与所述底部之间，配置有2片整流板，所述2片整流板由上侧整流板与下侧整流板所构成，而所述下侧整流板位于比该上侧整流板更靠近所述清洗槽的所述底部侧； 所述上侧整流板及所述下侧整流板分别具有多个孔； 所述上侧整流板的所述孔的直径比所述下侧整流板的所述孔的直径小； 还包含根据所述下侧整流板的所述多个孔的面积的总和Amm2及所述上侧整流板的所述多个孔的面积的总和Bmm2来确定所述清洗液的供给流量QLmin的工序，在供给所述清洗液并对所述工件进行清洗处理的工序中，以确定的所述供给流量QLmin供给所述清洗液，或者还包含根据所述供给流量QLmin来确定所述面积的总和Amm2和或所述面积的总和Bmm2的工序，在准备所述清洗槽的工序中，准备具备所述下侧整流板和或所述上侧整流板的所述清洗槽，而所述下侧整流板包括具有已确定的所述面积的总和Amm2的所述多个孔，所述上侧整流板包括具有已确定的所述面积的总和Bmm2的所述多个孔； 所述面积的总和Amm2、所述面积的总和Bmm2以及已确定的所述供给流量QLmin，或者所述供给流量QLmin以及已确定的所述面积的总和Amm2和或所述面积的总和Bmm2满足以下的关系式a， BA≥5.6×10-2exp0.46Q且 BA≤-6.9×10-2Q2+1.2Q+3.4。

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