科磊股份有限公司A·戈洛塔斯万获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利复合重叠计量目标获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114930161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180008016.5,技术领域涉及:G01N21/956;该发明授权复合重叠计量目标是由A·戈洛塔斯万;I·塔尔西斯-沙皮尔;M·吉诺乌克;R·迪拉韦设计研发完成,并于2021-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合重叠计量目标在说明书摘要公布了:一种计量目标包含沿着一或多个方向与第一计量模式兼容的第一组图案元素及沿着一或多个方向与第二计量模式兼容的第二组图案元素,其中所述第二组图案元素包含所述第一组图案元素的第一部分,且其中所述第二组图案元素是由所述第一组图案元素的不包含于所述第二组图案元素中的第二部分包围。
本发明授权复合重叠计量目标在权利要求书中公布了:1.一种计量目标,其包括: 第一组图案元素,其中所述第一组图案元素沿着一或多个方向与第一计量子系统的第一计量模式兼容;及 第二组图案元素,其中所述第二组图案元素沿着所述一或多个方向与第二计量子系统的第二计量模式兼容,其中所述第二组图案元素包含所述第一组图案元素的第一部分,且其中所述第二组图案元素是由所述第一组图案元素的不包含于所述第二组图案元素中的第二部分包围。
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