弗劳恩霍夫应用研究促进协会托比亚斯·弗里奇获国家专利权
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龙图腾网获悉弗劳恩霍夫应用研究促进协会申请的专利用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115348947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180023414.4，技术领域涉及：B81C99/00；该发明授权用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置是由托比亚斯·弗里奇;托比亚斯·克劳斯;保罗·弗里切;马蒂亚斯·菲德勒设计研发完成，并于2021-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置在说明书摘要公布了：实施例提供一种用于对多个MEMS设备中的至少一个MEMS设备进行声学测试的方法。所述方法包括提供至少一个MEMS设备的步骤。另外，所述方法包括激发所述至少一个MEMS设备以产生声学振动的步骤。另外，所述方法包括通过至少一个声音传感器对所述至少一个MEMS设备的所述声学振动进行检测的步骤。另外，所述方法包括评估所述至少一个MEMS设备通过所述至少一个声音传感器检测的所述声学振动，以针对目标功能测试所述至少一个MEMS设备的步骤。
本发明授权用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种用于对多个MEMS设备7_1-7_3中的至少一个MEMS设备7进行声学测试的方法100，其中所述方法100包括： 提供102具有所述至少一个MEMS设备7的所述多个MEMS设备7_1-7_3， 提供测试装置10，并且通过所述测试装置10接触所述至少一个MEMS设备7，经由所述测试装置10激发104所述至少一个MEMS设备7，以产生声学振动， 通过所述测试装置10的至少一个声音传感器8检测106所述至少一个MEMS设备7的声学振动， 评估108所述至少一个MEMS设备7的声学振动， 通过所述至少一个声音传感器8进行检测，以针对目标功能测试所述至少一个MEMS设备7， 其中，所述测试装置10是探针、探针的部分或测试卡。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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