国际商业机器公司D·T·潘获国家专利权
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龙图腾网获悉国际商业机器公司申请的专利用于非静态系统的模型管理获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114303235B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080059534.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权用于非静态系统的模型管理是由D·T·潘;R·J·巴塞曼;F·A·蒂普;N·恩古延;R·穆拉里德哈尔设计研发完成，并于2020-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于非静态系统的模型管理在说明书摘要公布了：一种改善物理过程的质量和产量中的至少一个的方法，包括：从所述物理过程的相应执行获得与所述物理过程相关联的多个变量的值；确定表示针对所述物理过程的所述执行的所述变量的所述值的至少一个高斯混合模型GMM；至少部分地基于所述至少一个GMM，针对所述物理过程的所述执行中的至少一个执行计算所述变量中的至少一个变量的至少一个异常分数；基于所述至少一个异常分数，将所述物理过程的执行中的所述至少一个执行标识为异常值；以及至少部分地基于所述异常值的识别，针对所述物理过程的一次或多次后续执行修改所述变量中的所述至少一个变量。
本发明授权用于非静态系统的模型管理在权利要求书中公布了：1.一种用于改善物理过程的质量和产量中的至少一个的方法，包括： 从物理过程的相应执行获得与所述物理过程相关联的多个变量的值，其中，所述物理过程包括半导体制造过程的至少一部分； 确定表示所述物理过程的执行的所述多个变量的所述值的至少一个高斯混合模型GMM； 至少部分基于所述至少一个高斯混合模型，计算所述物理过程的所述执行中的至少一个的所述多个变量中的各变量的异常分数； 基于所述多个变量中的至少一个变量的至少一个异常分数超过所述物理过程的执行中的所述至少一个的指定阈值，将所述物理过程的所述执行中的所述至少一个识别为异常值；以及 至少部分地基于所述异常值的识别，修改所述多个变量中的所述至少一个变量以用于所述物理过程的一个或多个后续执行，以便改进所述物理过程的质量和产量中的所述至少一个。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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