意法半导体股份有限公司F·韦尔切西获国家专利权
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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112583372B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011052268.1，技术领域涉及：H03H3/007；该发明授权压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程是由F·韦尔切西;L·科尔索;G·阿勒加托;G·加特瑞设计研发完成，并于2020-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程在说明书摘要公布了：本公开的各实施例涉及压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程。微机电谐振器设备具有：主体，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和第二表面，并且由第一层和第二层制成，第二层被布置在第一层上；盖，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和相应第二表面，并通过键合元件被耦合到主体；以及由移动元件、压电材料区域和顶部电极形成的压电谐振器结构，移动元件由第一层的谐振器部分构成、相对于第二层中提供的内部腔以悬臂方式悬置并且相对于盖中提供的壳体腔在相对侧悬置；压电材料区域被布置在主体的第一表面上的移动元件上；并且顶部电极被布置在压电材料区域上，移动元件构成压电谐振器结构的底部电极。
本发明授权压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统谐振器设备，包括： 主体，具有第一层和第二层，所述第一层具有第一表面，所述第二层具有沿轴与所述第一表面相对的第二表面，所述第二层具有沿所述轴面向所述第一层的内腔，所述第一层包括移动元件，所述移动元件与所述内腔重叠、并且相对于所述内腔以悬臂方式悬置； 键合元件； 盖，具有沿所述轴彼此相对的第一表面和第二表面，并且所述盖的所述第一表面通过所述键合元件被键合到所述主体的所述第一表面，所述盖包括与所述内腔重叠的壳体腔，所述移动元件相对于所述壳体腔以所述悬臂方式悬置；以及 压电谐振器结构，包括： 所述移动元件，被配置作为底部电极； 压电材料的压电区域，被布置在所述主体的所述第一表面处的所述移动元件上；以及 顶部电极，被布置在所述压电区域上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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