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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114062382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010772540.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种检测系统及检测方法是由陈鲁;李海卫;张鹏斌设计研发完成，并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测系统及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种检测系统及检测方法，该检测系统包括检测装置、承载装置和转运装置，其中，所述检测装置用于检测待测对象的第一表面或第二表面，所述检测装置的光轴与所述待测对象的第一表面或第二表面垂直；所述承载装置置于检测腔中，用于承载所述待测对象的第一表面或者用于承载所述待测对象的边缘区域；所述转运装置用于将所述待测对象移至所述承载装置或者从所述承载装置移走，配置为使所述待测对象的第一表面或第二表面处于待测状态。通过功能结构优化的检测系统，得以在一个检测腔内完成对待测器件两个表面的检测，在有效降低检测成本的基础上，可大大减少检测时间。

本发明授权一种检测系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测系统，其特征在于，包括： 检测装置，用于检测待测对象的第一表面和第二表面，所述检测装置的光轴与所述待测对象的第一表面和第二表面垂直； 置于检测腔中的承载装置，用于承载所述待测对象的第一表面或者用于承载所述待测对象的边缘区域； 转运装置，用于将所述待测对象移至所述承载装置或者从所述承载装置移走，配置为使所述待测对象的第一表面或第二表面处于待测状态； 其中，所述承载装置包括： 真空吸附面和支撑面，所述真空吸附面形成于真空吸盘，用于吸附所述待测对象的第一表面，使检测装置对所述待测对象的第二表面进行第一检测处理；所述支撑面用于承载所述待测对象的边缘区域，使所述检测装置对所述待测对象的第一表面进行第二检测处理； 多个支撑组件，所述多个支撑组件用于带动所述待测对象至所述真空吸附面所在平面或者至所述支撑面所在平面； 所述多个支撑组件包括：定位块和承载块，所述定位块和所述承载块分别配置为沿垂直于所述真空吸附面的方向移动，以切换于工作位和非工作位；所述定位块包括第一承托面和位于所述第一承托面上方的定位部，所述定位部形成对待测器件在水平面内位置的限制，所述承载块包括第二承托面；所述第一承托面和所述第二承托面形成所述支撑面，且所述承载块处于工作位时所述第二承托面高于所述真空吸盘的上表面。

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