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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种承载装置及承载系统、工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068380B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010773461.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种承载装置及承载系统、工作方法是由陈鲁;李海卫;张鹏斌设计研发完成，并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种承载装置及承载系统、工作方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种承载装置及承载系统、工作方法，该承载装置包括真空吸盘和多个支撑组件；所述真空吸盘包括相对的吸附面和背面，所述吸附面用于吸附待测对象的第一表面；所述支撑组件配置为沿垂直于所述吸附面的方向运动；所述多个支撑组件具有承托面，所述承托面用于支撑所述待测对象的边缘；在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述吸附面距离所述真空吸盘的背面的距离小于所述承载面距离所述真空吸盘的背面的距离。应用本方案，能够在一个检测腔内完成对待测对象两个表面的检测，在不影响晶圆正面的完整性和清洁度的基础上，有效降低了检测成本。

本发明授权一种承载装置及承载系统、工作方法在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，其特征在于，包括： 真空吸盘，包括相对的吸附面和背面，所述吸附面用于吸附待测对象的第一表面； 多个支撑组件，所述支撑组件配置为沿垂直于所述吸附面的方向运动，以切换于工作位和非工作位之间； 所述多个支撑组件形成有支撑面，所述支撑面用于支撑所述待测对象的边缘；在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述吸附面距离所述真空吸盘的背面的距离，小于位于工作位的所述支撑面距离所述真空吸盘的背面的距离；所述吸附面距离所述真空吸盘的背面的距离，大于位于非工作位的所述支撑面距离所述真空吸盘的背面的距离； 所述多个支撑组件包括定位块，所述定位块包括定位部和第一承托面，所述第一承托面用于承托所述待测对象的边缘区域，所述定位部与所述待测对象的边缘径向相抵； 所述承载装置还包括夹持部件，所述夹持部件包括夹持部和夹持驱动部，所述夹持部配置为与所述待测对象的边缘径向相抵； 夹持驱动部，用于驱动所述夹持部沿所述真空吸盘径向移动，提供所述夹持部的夹紧驱动力，并配置为：在所述夹紧驱动力的作用下，所述夹持部与所述定位块构建形成的所述夹紧驱动力至待测对象。

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