株式会社迪思科赵金艳获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利扩展方法以及扩展装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112289704B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010704482.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权扩展方法以及扩展装置是由赵金艳;政田孝行设计研发完成,并于2020-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩展方法以及扩展装置在说明书摘要公布了:提供扩展方法以及扩展装置,能够抑制分割后的芯片彼此接触而破损的情况。扩展方法包含:框架固定步骤,利用框架固定部将被加工物单元的环状框架固定;扩展步骤,在实施了框架固定步骤之后,利用扩展鼓对被加工物的外周与环状框架的内周之间的扩展片进行按压而对扩展片进行扩展;以及加热步骤,在实施了扩展步骤之后,对扩展片扩展而形成的扩展片的松弛部分进行加热而使该松弛部分收缩。加热步骤包含:整周加热步骤,对被加工物的外周的整周进行加热;以及追加加热步骤,对被加工物的外周的一部分进行加热。
本发明授权扩展方法以及扩展装置在权利要求书中公布了:1.一种扩展方法,对被加工物单元的扩展片进行扩展,该被加工物单元由被加工物、粘贴在该被加工物上的该扩展片以及粘贴着该扩展片的外周的环状框架构成,其中, 该扩展方法具有如下的步骤: 框架固定步骤,利用框架固定构件将被加工物单元的该环状框架固定; 扩展步骤,在实施了该框架固定步骤之后,利用按压构件对被加工物的外周与该环状框架的内周之间的该扩展片进行按压而对该扩展片进行扩展;以及 加热步骤,在实施了该扩展步骤之后,对该扩展片扩展而形成的该扩展片的松弛部分进行加热而使该松弛部分收缩, 该加热步骤包含如下的步骤: 整周加热步骤,对被加工物的外周的该松弛部分的整周进行加热;以及 追加加热步骤,对被加工物的外周的该松弛部分的一部分进行加热, 在实施了该整周加热步骤之后,实施该追加加热步骤, 被加工物单元的该扩展片是从具有恒定的宽度的带状的扩展片切出的, 在将带状的该扩展片的宽度方向设为第1方向,将与该第1方向垂直的方向设为第2方向时, 在该追加加热步骤中,对该第2方向上的被加工物的两个外侧进行加热, 该扩展片的该第2方向的热收缩性比该第1方向的热收缩性低。
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