ASML荷兰有限公司I·马拉克霍夫斯基获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于组装掩模版组件的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113853550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080017405.X，技术领域涉及：G03F1/68；该发明授权用于组装掩模版组件的设备是由I·马拉克霍夫斯基;德克·S·G·布龙;J·R·S·克拉克林;E·哈格;彼得·雷纳特·马里亚·埃尼;J·W·A·乌斯特林;L·波斯特马;M·D·斯内尔;J·C·A·范登堡;W·范登齐斯;B·J·范登维克;M·J·A·范库克;M·A·L·范乌姆-范海尔克;H·M·T·维尔斯马设计研发完成，并于2020-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于组装掩模版组件的设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于处置大致平面物体的物体处置设备，所述物体处置设备包括：两个支撑臂，所述两个支撑臂中的至少一个相对于另一支撑臂大致在平面中可移动，使得所述两个支撑臂可操作以抓取和保持设置在所述平面中的物体；其中所述支撑臂中的每个支撑臂包括至少一个支撑垫和至少一个对准器，所述支撑垫被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加大致垂直于所述平面的力以支撑所述物体，并且所述对准器被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加大致在所述平面中的力以抓取所述物体。
本发明授权用于组装掩模版组件的设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处置平面物体的物体处置设备，所述物体处置设备包括： 两个支撑臂，所述两个支撑臂中的至少一个相对于另一支撑臂能够在平面中移动，使得所述两个支撑臂能够操作以夹持和保持设置在所述平面中的物体； 其中所述支撑臂中的每个支撑臂包括至少一个支撑垫和至少一个对准器，所述支撑垫被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加垂直于所述平面的力以支撑所述物体，并且所述对准器被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加在所述平面中的力以对准所述物体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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