住友化学株式会社藤田昌宏获国家专利权
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龙图腾网获悉住友化学株式会社申请的专利溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116377402B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310394145.3,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法是由藤田昌宏;西冈宏司设计研发完成,并于2020-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备:背板;靶材,其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域;和接合层,其通过所述背板与所述靶材之间的接合材料而形成,其中,所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97%以上,在整个所述接合区域中,所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的整面的面积而言为2%以下,所述接合层的最大厚度与最小厚度之差为0.5mm以下。
本发明授权溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法在权利要求书中公布了:1.溅射靶,其具备: 背板; 靶材,其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域;和 接合层,其通过所述背板与所述靶材之间的接合材料而形成, 其中,所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97%以上, 在整个所述接合区域中,所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的整面的面积而言为2%以下, 所述接合层的最大厚度与最小厚度之差为0.5mm以下, 所述靶材形成为板状, 所述靶材由金属或其合金构成。
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