朗姆研究公司马丁·克莱因丁斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利处理晶片的设备及控制该设备的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113396473B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080012835.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理晶片的设备及控制该设备的方法是由马丁·克莱因丁斯特;斯蒂芬·科赫设计研发完成，并于2020-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理晶片的设备及控制该设备的方法在说明书摘要公布了：一种用于处理晶片的设备包含：可旋转卡盘，其适于接收晶片；加热组件，其包含加热元件阵列，该加热元件阵列被配置用于加热由该可旋转卡盘所接收的晶片；图像传感器，其被配置用于检测来自该晶片的表面的电磁辐射；以及控制器，其设置用于基于该图像传感器的测量输出来控制供应到该加热元件阵列的功率。
本发明授权处理晶片的设备及控制该设备的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的设备，所述设备包含： 可旋转卡盘，所述可旋转卡盘适于接收所述晶片； 加热组件，所述加热组件包含加热元件阵列，所述加热元件阵列被配置用于加热由所述可旋转卡盘接收的所述晶片； 图像传感器，所述图像传感器被配置用于检测来自所述晶片的表面上的液体的电磁辐射；以及 控制器，所述控制器被设置成基于所述图像传感器的测量输出来控制供应到所述加热元件阵列的功率， 其中所述控制器被配置成分析所述图像传感器的所述测量输出以确定在所述晶片的所述表面上的干燥线的位置，所述干燥线对应于所述晶片的所述表面上的干燥区域与润湿区域之间的过渡区。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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