应用材料公司A·恩古耶获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利减少聚合物沉积的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111293026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911226343.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权减少聚合物沉积的设备和方法是由A·恩古耶;X·常;S·劳夫;J·A·肯尼设计研发完成，并于2019-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本减少聚合物沉积的设备和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种减少聚合物沉积的设备和方法。本公开的实现方式提供了一种用于静电吸盘的工艺配件。在一个实现方式中，提供了一种衬底支撑组件。所述衬底支撑组件包括静电吸盘，所述静电吸盘具有形成在所述静电吸盘的上部分中的第一凹陷。工艺配件包围所述静电吸盘。所述工艺配件包括内环和设置在所述内环的径向外侧的外环。所述外环包括形成在上环的上部分中的第二凹陷。所述内环定位在所述第一凹陷和所述第二凹陷内并由所述第一凹陷和所述第二凹陷支撑。所述内环的上表面和所述外环的上表面是共面的。
本发明授权减少聚合物沉积的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底支撑组件，包括： 静电吸盘，所述静电吸盘包括第一凹陷，所述第一凹陷形成在所述静电吸盘的上部分中；以及 工艺配件，所述工艺配件环绕所述静电吸盘，其中所述工艺配件包括： 内环； 外环，所述外环设置在所述内环的径向外侧，其中所述外环包括第二凹陷，所述第二凹陷形成在所述外环的上部分中，并且所述内环定位在所述第一凹陷和所述第二凹陷内并由所述第一凹陷和所述第二凹陷支撑，使得所述内环的上表面和所述外环的上表面是共面的；以及 在所述外环上的泵送通道，所述泵送通道被配置为将不想要的材料从所述衬底支撑件泵送走。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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