ASML荷兰有限公司黄璿彬获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551196B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210146332.5，技术领域涉及：H01J37/16；该发明授权一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统是由黄璿彬;吕俊良;凃进发;林文生;王友金设计研发完成，并于2018-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统在说明书摘要公布了：提供了一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统，其具有粒子屏蔽板204、底部密封板202和多个传感器单元301‑303。传感器单元位于晶片的上方，屏蔽板被设计为具有少量螺钉，并且底部密封板不包含电缆，不使用接触传感器以及使用更少的螺钉。在本发明中，系统被设计为改善来自带电粒子束检查工具的装载锁定系统中的部件的污染粒子，并且还简化其组装。
本发明授权一种用于带电粒子束成像的装载锁定系统在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑器件的底部密封装载锁定装置，包括： 粒子屏蔽板，位于所述器件上方，用于屏蔽来自与所述底部密封装载锁定装置耦合的至少一个部件的至少一个非期望粒子，其中所述粒子屏蔽板具有最多达三个螺钉以进行固定； 底部密封板，被设置在所述器件下方以支撑所述器件，其中所述底部密封板具有最多达三个螺钉以进行固定； 顶部密封板，所述顶部密封板被设置在所述器件上方以形成密封所述器件的密封空间；以及 多个位置检测单元，与所述底部密封板分离，用于通过将光束投射在所述器件上来检测所述器件的几何位置， 其中所述器件被封闭于所述密封空间中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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