美国亚德诺半导体公司张欣获国家专利权
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龙图腾网获悉美国亚德诺半导体公司申请的专利多轴共振加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113985068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111302809.6，技术领域涉及：G01P15/097；该发明授权多轴共振加速度计是由张欣;M·W·朱蒂;M·莫迪设计研发完成，并于2016-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本多轴共振加速度计在说明书摘要公布了：本发明涉及多轴共振加速度计。多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴例如，X、Y和或Z轴相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。
本发明授权多轴共振加速度计在权利要求书中公布了：1.一种多轴谐振加速度计，包括： 谐振器，包括布置在器件平面中的四个检测质量块，所述四个检测质量块中的每个检测质量块包括在y轴方向上延伸的第一指状结构以及在x轴方向上延伸的第二指状结构； 其中，所述四个检测质量块中的每个检测质量块的第一指状结构位于在x轴方向上相对布置的对应的x轴驱动电极与对应的x轴感测电极之间，以形成以下的一部分： x轴驱动电容器，被配置用于驱动所述器件平面中的检测质量块的x轴运动；和 x轴感测电容器，被配置用于基于在x轴加速度存在的情况下的静电弹簧调谐来感测所述检测质量块的x轴谐振频率的变化；以及 其中，所述四个检测质量块中的每个检测质量块的第二指状结构位于在y轴方向上相对布置的对应的y轴驱动电极与对应的y轴感测电极之间，以形成以下的一部分： y轴驱动电容器，被配置用于驱动所述器件平面中的检测质量块的y轴运动；和 y轴感测电容器，被配置用于基于在y轴加速度存在的情况下的静电弹簧调谐来感测所述检测质量块的y轴谐振频率的变化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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