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龙图腾网获悉艾佩科(上海)气体有限公司申请的专利一种高纯三甲基铝的提纯装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223196593U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521312569.1，技术领域涉及：B01D15/10；该实用新型一种高纯三甲基铝的提纯装置是由马卫平;徐锵锵;周莹莹设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高纯三甲基铝的提纯装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高纯三甲基铝的提纯装置，包括依次连接的原料罐、预冷器、一级吸附塔、二级吸附塔、冷凝器和成品收集罐；原料罐底部出口连接预冷器，预冷器出口分主路和旁路，主路经电磁阀连接一级吸附塔，旁路接应急排放口；一级吸附塔内设烧结金属分布器和复合填料层，顶部连接二级吸附塔；二级吸附塔内置钠‑钾合金床层并配有电加热套，出口连接冷凝器；冷凝器底部通过毛细管连接收集罐，真空系统经三通阀分路连接吸附塔和冷凝器。本实用新型通过多级纯化协同设计，实现三甲基铝纯度达99.9995%以上，双重密封管路和＜50ms快速响应电磁阀显著提升安全性和效率，适用于半导体级生产。

本实用新型一种高纯三甲基铝的提纯装置在权利要求书中公布了：1.一种高纯三甲基铝的提纯装置，其特征在于，包括依次连接的：带冷却夹套的原料罐（1），其底部出口通过第一管路连接至预冷器（2）的下端入口，所述第一管路上设有第一电磁阀（9）； 预冷器（2），其上端出口通过第二管路分为两路，其中主路经第二电磁阀（10）连接至一级吸附塔（3）的底部入口，旁路经第三电磁阀（11）连接至应急排放口，所述应急排放口连接至惰性气体吹扫系统； 一级吸附塔（3），其顶部出口通过第四管路连接至二级吸附塔（4）的底部入口，所述一级吸附塔（3）内填充3A分子筛与活性炭的复合填料层（3a），底部设有烧结金属分布器（3b）； 二级吸附塔（4），其顶部出口通过第五管路连接至冷凝器（5）的上端进气口，所述二级吸附塔（4）内置钠-钾合金分散床层，外设电加热套； 冷凝器（5），其底部出口通过第六管路连接至成品收集罐（6）的上部进液口，所述第六管路为内径0.5mm的毛细管； 真空系统，包括分子泵（7）通过第七管路连接至三通阀（12），所述三通阀（12）的第一分支通过第八管路连接至一级吸附塔（3）的顶部抽气口，第二分支通过第九管路连接至冷凝器（5）的抽气口。

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