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龙图腾网获悉恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司申请的专利一种基于动态间距的晶圆预扫描方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120300051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510787518.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种基于动态间距的晶圆预扫描方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于动态间距的晶圆预扫描方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于动态间距的晶圆预扫描方法，涉及半导体技术领域，该预扫描方法根据第i‑1组芯片动态间距以及第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标确定第i个靶面图像中各颗芯片的全局行列坐标，然后利用第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标更新第i‑1组芯片动态间距得到第i组芯片动态间距，继而按照第i组芯片动态间距继续对第i+1个靶面图像进行处理，该方法根据每个扫描位置处芯片的实际间距来动态更新芯片动态间距，使得对逐靶面扫描得到的靶面图像进行处理过程中使用的芯片动态间距更符合实际芯片排布情况，在扩膜不均衡导致芯片间距发生变化的情况下也能够准确扫描确定芯片的全局行列坐标，提高了预扫描成功率和准确性。

本发明授权一种基于动态间距的晶圆预扫描方法在权利要求书中公布了：1.一种基于动态间距的晶圆预扫描方法，其特征在于，所述晶圆预扫描方法包括： 选定第一个靶面图像中任一颗芯片作为起点芯片并标定其全局行列坐标，确定第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标，第i个靶面图像是相机马达位于第i个扫描位置处时通过预扫相机采集到的靶面图像，整数参数i的起始值为1； 根据第i-1组芯片动态间距Di-1以及第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标，确定第i个靶面图像中各颗芯片的相对行列关系，并结合第i个靶面图像中基准芯片的全局行列坐标确定第i个靶面图像中各颗芯片的全局行列坐标；其中，芯片动态间距D0为初始值，第一个靶面图像中的基准芯片是起点芯片，i≥2时第i个靶面图像中的基准芯片是第i个靶面图像与第i-1个靶面图像中同时包含的芯片； 根据第i个靶面图像中各颗芯片的相对行列关系，利用第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标更新第i-1组芯片动态间距Di-1得到第i组芯片动态间距Di；令i=i+1并再次执行确定第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标的步骤。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区金山北科技产业园C1-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。