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龙图腾网获悉上海洪朴信息科技有限公司申请的专利基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法、电子设备、存储介质及程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120219378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510685688.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法、电子设备、存储介质及程序产品是由张嘉诚;徐唱设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法、电子设备、存储介质及程序产品在说明书摘要公布了：本申请提供一种基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法、电子设备、存储介质及程序产品。涉及图像处理技术领域。该方法包括：获得多张晶圆图像；提取每张晶圆图像上的标定特征；基于标定特征将多张晶圆图像进行对齐处理，获得对齐后的多张晶圆图像；按照预设叠加规则，将对齐后的多张晶圆图像进行叠加操作，获得叠加图像；提取所述叠加图像上的缺陷特征；根据所述缺陷特征，结合生产工序中各部件在工作过程中的状态信息进行分析，获得导致缺陷产生的因素。本申请将晶圆图像叠图处理，基于叠加图像进行缺陷分析，可以精准地定位缺陷产生的因素，也可以统计缺陷出现的频率和分布规律，提高缺陷检测结果的可靠性。

本发明授权基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法、电子设备、存储介质及程序产品在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆图像叠图的缺陷分析方法，其特征在于，包括： 获得多张晶圆图像；所述多张晶圆图像为同一晶圆在不同生产工序中对应的图像，或同一生产工序中不同晶圆的图像； 提取每张所述晶圆图像上的标定特征，所述标定特征为将多张所述晶圆图像进行对齐时用于定位的特征； 基于所述标定特征将多张所述晶圆图像进行对齐处理，获得对齐后的多张晶圆图像； 按照预设叠加规则，将所述对齐后的多张晶圆图像进行叠加操作，获得叠加图像； 提取所述叠加图像上的缺陷特征； 根据所述缺陷特征，结合生产工序中各部件在工作过程中的状态信息进行分析，获得导致缺陷产生的因素； 在所述晶圆图像的图像类型为AOI图像的情况下；所述晶圆图像包括缺陷信息，所述缺陷信息包括缺陷类型和缺陷位置；所述叠加图像包括第一单缺陷叠加图像或第二单缺陷叠加图像；所述按照预设叠加规则，将所述对齐后的多张晶圆图像进行叠加操作，获得叠加图像，包括： 基于所述缺陷类型，从所述晶圆图像中提取包含单一缺陷类型的缺陷图像； 针对同一种缺陷类型的缺陷图像，统计同一像素点位置上存在缺陷的第一缺陷图像数量； 根据所述第一缺陷图像数量生成第一单缺陷叠加图像；或， 基于所述缺陷类型，从所述晶圆图像中提取包含单一缺陷类型的缺陷图像； 对每一缺陷类型对应的所述缺陷图像进行网格划分，获得多个网格图像； 针对每一缺陷类型，统计对应缺陷图像中每个所述网格图像中包含缺陷芯片的数量； 根据统计获得的每个所述网格图像中包含缺陷芯片的数量，按照预设叠加算法计算同一缺陷类型的多张缺陷图像中，相同位置的网格图像对应的叠加值，基于所述叠加值生成第二单缺陷叠加图像； 在所述晶圆图像的图像类型为mapping图像的情况下；所述晶圆图像为基于所述晶圆在各像素点位置上的目标量测参数值生成；所述按照预设叠加规则，将所述对齐后的多张晶圆图像进行叠加操作，获得叠加图像，包括： 按照预设叠加算法对多张晶圆图像中，同一像素点位置上的所述目标量测参数值进行叠加计算，获得第一叠加参数值；所述预设叠加算法包括求和、求均值、求方差和求标准差； 根据所述第一叠加参数值生成所述叠加图像；或， 将每张所述晶圆图像进行网格划分，获得每张所述晶圆图像对应的多个第二网格图像； 计算每个所述第二网格图像内所述目标量测参数值的均值，获得每个所述第二网格图像对应的参数均值； 按照预设叠加算法，对多张所述晶圆图像同一位置的第二网格图像的参数均值进行叠加计算，获得第二叠加参数值； 根据所述第二叠加参数值生成所述叠加图像。

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