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吉林省巨程智造光电技术有限公司杨东来获国家专利权

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龙图腾网获悉吉林省巨程智造光电技术有限公司申请的专利一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120155833B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510637533.9,技术领域涉及:B24B13/00;该发明授权一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法是由杨东来;李薇;高斯凯;张慧;张震;许军设计研发完成,并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法在说明书摘要公布了:本申请涉及光学加工技术领域,本申请提供一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法,包括以下步骤:S10:初始氟化钙光学元件的抛光工艺参数;S20:启动抛光设备对氟化钙光学元件进行抛光,并同步激活多维传感器网络,实时采集抛光区域的多维传感数据;S30:采用滑动窗口计算滑动窗口中位数和中位数绝对偏差标准化值,检查多维传感数据的异常点;S40:在抛光过程中,基于多维传感数据的异常点分布对抛光工艺参数进行动态修正;S50:当表面粗糙度达到目标值且面形精度达标后,终止抛光得到抛光后的目标氟化钙。本申请通过多传感器融合与智能反馈控制,解决了传统氟化钙抛光中实时性差、多物理量耦合难控、异常响应滞后的核心问题。

本发明授权一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种氟化钙光学元件的超精密抛光方法,其特征在于,包括以下步骤: S10:初始氟化钙光学元件的抛光工艺参数; S20:启动抛光设备对氟化钙光学元件进行抛光,并同步激活多维传感器网络,实时采集抛光区域的多维传感数据; S30:采用滑动窗口计算滑动窗口中位数和中位数绝对偏差标准化值,检查多维传感数据的异常点; S40:在抛光过程中,基于多维传感数据的异常点分布对抛光工艺参数进行动态修正; S50:当表面粗糙度达到目标值且面形精度达标后,终止抛光得到抛光后的目标氟化钙; 所述S40包括: 根据传感器类型划分异常点来源,计算属于异常点来源的传感器数据与抛光工艺参数的相关性,为每个属于异常点来源的传感器分配权重,计算抛光工艺参数的调整量并对抛光过程的抛光工艺参数进行修正; 所述计算属于异常点来源的传感器数据与抛光工艺参数的相关性,公式如下: 式中,ρij为第i类传感器与第j项抛光工艺参数的相关性,Sit为第i类传感器在t时刻的传感数据序列,为传感器i的正常参考值,Gjt为第j项抛光工艺参数的设定值序列,为第j项抛光工艺参数的参考设定值,t为采样时刻,T为采样点总数; 所述为每个属于异常点来源的传感器分配权重,公式如下: 式中,ωi为第i类传感器的权重分配系数,N为传感器类型总数,Eik为传感器i与k的互相关能量,τ为时间滞后量,L为最大时间滞后量; 所述计算抛光工艺参数的调整量,公式如下: 式中,ΔPj为对第j项抛光工艺参数的最终参数调整量,α为动态调整系数,为传感器i对参数j的影响因子。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉林省巨程智造光电技术有限公司,其通讯地址为:130021 吉林省长春市北湖科技开发区航空街4084号新兴产业示范园项目一期工程4号厂房101号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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