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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司申请的专利具有加热功能的陶瓷静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127049B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510623465.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权具有加热功能的陶瓷静电吸盘是由张桂华;刘畅;伊小念;王天意设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有加热功能的陶瓷静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明提供了具有加热功能的陶瓷静电吸盘，包括静电吸盘本体，静电吸盘本体设置有基座；还包括：内腔，内腔设置在基座内，基座内设置有若干个均匀分布的加热片；升降机构，升降机构包括驱动部以及升降柱；旋转机构，旋转机构与加热片底面连接，旋转机构安装至升降机构上；安装机构，安装机构包括与升降机构底部相连的嵌块以及设置在嵌块两侧的锁定组件，嵌块与开设在基座底部的嵌槽配合连接，锁定组件与开设在嵌槽两侧的锁孔插接；锁定组件具有设置在升降柱下方的解锁部。通过若干个加热片可进行分区加热，且加热片通过旋转机构进行驱动可自转，方便进行区域内的均匀加热，且通过安装机构，使加热片、升降机构和旋转机构可进行拆卸维护。

本发明授权具有加热功能的陶瓷静电吸盘在权利要求书中公布了：1.具有加热功能的陶瓷静电吸盘，包括静电吸盘本体（1），所述静电吸盘本体（1）设置有基座（101）；其特征在于，还包括： 内腔（102），所述内腔（102）设置在基座（101）内，且基座（101）内设置有若干个均匀分布的加热片（5）； 升降机构（4），所述升降机构（4）包括驱动部以及升降柱（402），所述驱动部用于驱动升降柱（402）升降移动； 旋转机构（9），所述旋转机构（9）与加热片（5）底面连接，且旋转机构（9）安装至升降机构（4）上；所述旋转机构（9）包括伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固接有第二转动柱（903），且第二转动柱（903）的顶端与加热片（5）的底面固接，所述第二转动柱（903）与升降柱（402）的顶端转动连接，所述伸缩杆的底端连接有第二电机（904）； 安装机构（8），所述安装机构（8）包括与升降机构（4）底部相连的嵌块（801）以及设置在嵌块（801）两侧的锁定组件，所述嵌块（801）与开设在基座（101）底部的嵌槽配合连接，所述锁定组件与开设在嵌槽两侧的锁孔插接；所述锁定组件具有设置在升降柱（402）下方的解锁部，所述解锁部受所述升降柱（402）下压，使锁定组件解锁； 导热盘（3），所述导热盘（3）可上下移动，且导热盘（3）设置在加热片（5）的上方，所述导热盘（3）与内腔（102）的顶面弹性连接； 散热扇（2），所述散热扇（2）安装至基座（101）的侧方，且散热扇（2）的内侧口与内腔（102）连通，所述散热扇（2）的外侧设置有防尘网（6）； 清扫机构（7），所述清扫机构（7）设置在防尘网（6）上，且清扫机构（7）的输入端与导热盘（3）连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司;湖北云在上半导体有限公司，其通讯地址为：518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。