天津吉兆源科技有限公司李树瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种静电卡盘及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510593212.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电卡盘及半导体设备是由李树瑜;李彦伯;刘帅设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种静电卡盘及半导体设备，属半导体制备技术领域。本申请通过将电荷发生器与顶针组件连接，当需要将晶圆在静电卡盘上进行脱附时，启动电荷发生器，由于介电层上表面的残留正电荷，因此电荷发生器产生的设定电荷为负电荷，电荷发生器将产生的负电荷传导到顶针组件上。当顶针组件顶起晶圆的同时由于顶针组件上布满负电荷，负电荷与介电层上表面的正电荷相互抵消，因此降低晶圆与静电卡盘之间的吸附力，使得晶圆与静电卡盘脱附过程中更好的完成脱附，避免晶圆与静电卡盘无法完成顺利脱附以造成晶圆出现破损的情况发生，解决了现有技术中J‑R型静电卡盘中除电不良导致晶圆脱附过程中出现破损的技术问题。
本发明授权一种静电卡盘及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其特征在于，包括： 卡盘基体（1），用以放置晶圆，所述卡盘基体（1）设有中空腔室（11），所述中空腔室（11）与所述卡盘基体（1）的上表面连通； 顶针组件（2），设于所述中空腔室（11）内，所述顶针组件（2）具有沿所述卡盘基体（1）高度方向上下活动的自由度，所述顶针组件（2）用以将置于卡盘基体（1）上的晶圆顶起； 电荷发生器（3），与所述顶针组件（2）电连接，所述电荷发生器（3）用于产生设定电荷； 其中，所述设定电荷的电性与介电层的上表面的电荷的电性相反。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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