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龙图腾网获悉丰豹智能科技(上海)有限公司申请的专利一种无伤测量压力膜弯曲率的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120102322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510586091.X，技术领域涉及：G01N3/20；该发明授权一种无伤测量压力膜弯曲率的装置及方法是由叶文君;梁晗;王永洁;王丽芳;张旺;梁博文设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种无伤测量压力膜弯曲率的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种无伤测量压力膜弯曲率的装置及方法，属于弯曲率测量技术领域。无伤测量压力膜弯曲率的装置，包括框架、距离传感器、控制组件和顶起组件，所述框架上安装有距离传感器，所述框架的内部连接有控制组件和顶起组件，所述框架的顶部限位有压力膜，所述控制组件控制顶起组件顶起或放下所述压力膜。本发明能够有效识别压力膜的质量差异，从而显著降低机台的报警频率，提升晶圆的良品率，满足高精度芯片加工的需求。

本发明授权一种无伤测量压力膜弯曲率的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种无伤测量压力膜弯曲率的装置的测试方法，其特征在于：无伤测量压力膜弯曲率的装置，包括框架、距离传感器、控制组件和顶起组件，所述框架上安装有距离传感器，所述框架的内部连接有控制组件和顶起组件，所述框架的顶部限位有压力膜，所述控制组件控制顶起组件顶起所述压力膜； 所述框架包括测试平台，测试平台的中心位置处设置有若干限位槽，所述限位槽为环形； 所述测试平台的外壁上安装有距离传感器，所述距离传感器包括主传感器和副传感器，所述主传感器包括一号主传感器、二号主传感器、三号主传感器和四号主传感器，所述一号主传感器、二号主传感器、三号主传感器和四号主传感器分别位于所述测试平台的四个外壁上，所述一号主传感器、二号主传感器、三号主传感器和四号主传感器位于所述测试平台的两条相互垂直的中心线上；若干副传感器分别位于主传感器的两侧； 所述控制组件包括PLC控制器、触摸屏和电源插座，触摸屏和电源插座均与PLC控制器电连接在一起； 所述顶起组件包括伺服电机和顶起块，伺服电机驱动顶起块上升； 无伤测量压力膜弯曲率的装置的测试方法，包括以下步骤， S1：将外部电源插入电源插座上为装置供电，触摸屏的显示界面常亮提醒开始工作； S2：点击复位键，使顶起块位于测试平台的下方；将已经提前测量好硬度H、重量G和膜厚m的压力膜放置到测试平台的其中的一圈限位槽内，并在触摸屏上输入H、G、m数值； S3：将压力膜摆放在测试平台的限位槽上，触摸屏上显示出一号主传感器、二号主传感器、三号主传感器和四号主传感器测量出来的d1、d2、d3、d4的数值，副传感器根据测量出的数值的不同显示不同的颜色，人工微调压力膜的位置，直到若干副传感器在触摸屏上显示的颜色都为绿色，此时表示压力膜摆放到测试平台的正中心位置； S4：由PLC控制器直接计算出压力膜的直径D的数值并在触摸屏上显示，再点击触摸屏上的顶起块上升键，由PLC控制器控制伺服电机开始工作，驱动顶起块上升，从而缓慢顶起压力膜，直到压力膜达到完全脱离测试平台的状态，此时一号主传感器、二号主传感器、三号主传感器和四号主传感器的检测全部超出量程并开始红灯报警，同时反馈给PLC控制器，PLC控制器控制停止驱动顶起块上升的行为，此时，触摸屏上显示出顶起高度y的数值，PLC控制器计算出弯曲率W； 所述压力膜的直径D的计算公式为： ； 其中，L为测试平台的边长，，，，分别为测量主传感器到压力膜外围边缘的数值； 所述弯曲率W的计算公式为： ； 其中，D为压力膜的直径，y为顶起高度，G为重量，H为硬度，m为膜厚； 压力膜样品的弯曲率数值在规定范围内，表明生产的压力膜样品满足质量标准。

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