浙江大学张万德获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种二维材料微图案自动化转印设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120085516B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510578456.4,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种二维材料微图案自动化转印设备及方法是由张万德;李洋;韩宇;王秋雨;龚毓晨设计研发完成,并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二维材料微图案自动化转印设备及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二维材料微图案自动化转印设备及方法。包括机械臂、机械臂快换模组、滤膜架、视觉识别模块和控制模块;机械臂末端布置有能够在水平和竖直方向上运动的快换盘公盘,机械臂快换模组包括三个独立的功能模块,分别为滤膜‑掩模版吸附模块、滚压模块和翻转模块,每个功能模块均配置一个快换盘母盘,视觉识别模块包括两台工业相机,用于功能模块的定位,控制模块用于实现自动化转印设备的闭环反馈控制。本发明提出的方法操作简单、转移效率高且成本低,能够实现二维材料微图案的大面积、高精度、无缺陷转移,适用于多种二维材料和不同基底。
本发明授权一种二维材料微图案自动化转印设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种二维材料微图案自动化转印设备,其特征在于,包括: 机械臂1,包括SCARA机械臂结构、气泵1-14以及布置于SCARA机械臂结构末端的公盘驱动机构和快换盘公盘1-11,所述SCARA机械臂结构用于实现末端功能模块的水平运动,所述公盘驱动机构用于实现快换盘公盘1-11的垂直运动,所述气泵1-14用于作为快换盘公盘1-11的动力源和或气源; 机械臂快换模组2,包括三个独立的功能模块,三个功能模块分别为滤膜-掩模版吸附模块2-1、滚压模块2-2和翻转模块2-3,每个功能模块均包括一个快换盘母盘,三个快换盘母盘均能够通过气动耦合接口与所述快换盘公盘1-11配合; 滤膜架3,用于放置带有目标二维材料微图案的滤膜; 视觉识别模块4,包括第一工业相机1-13和第二工业相机4-5,第一工业相机1-13安装在SCARA机械臂结构的末端,第二工业相机4-5安装在可移动的相机支架上; 控制模块,用于控制自动化转印设备。
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