深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司张桂华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利一种晶圆的静电吸盘结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120089639B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510562546.4,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种晶圆的静电吸盘结构是由张桂华;刘畅;胡炳煌;刘锦豪设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的静电吸盘结构在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶圆的静电吸盘结构,所述晶圆的静电吸盘结构包括:静电吸盘,增压输送组件,自动清洁组件,为了解决现有技术中,普通的静电吸盘结构在对晶圆进行固定输送加工后,表面容易残留异物以及油污导致的后续吸附力降低的问题,本申请设计的自动清洁组件,自动对静电吸盘表面进行清洁处理,进一步的为了解决普通清洁工具接触静电吸盘表面长时间摩擦导致的磨损问题,本申请通过增压输送组件与自动清洁组件的配合使用,可以自动对静电吸盘进行增压喷冲清洁,一方面提高清洁效果,避免油污杂质的附着,另一方面减少人工清洁操作,避免了人工操作导致的磨损等现象。
本发明授权一种晶圆的静电吸盘结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的静电吸盘结构,其特征在于:所述晶圆的静电吸盘结构包括: 静电吸盘(4),所述静电吸盘(4)固定设置在翻转单元(3)的一端处,所述翻转单元(3)固定设置在输送单元(2)处,所述输送单元(2)用于带动吸盘进行输送移动,所述翻转单元(3)用于带动吸盘进行翻转; 挤压部(5),所述挤压部(5)固定设置在输送单元(2)的侧边处; 增压输送组件(6),所述增压输送组件(6)固定设置在固定底座(1)的上表面处,所述增压输送组件(6)的一侧与挤压部(5)接触,所述增压输送组件(6)用于增压输送清洁介质; 自动清洁组件(7),所述自动清洁组件(7)固定设置在固定底座(1)的上表面处,所述自动清洁组件(7)与增压输送组件(6)之间连接,所述自动清洁组件(7)用于自动释放清洁介质对静电吸盘(4)进行清洁处理; 所述输送单元(2)包括矩形导轨壳(201)、支撑脚(202)、移动座(203)、伺服电机A(204)和螺纹杆(205),所述矩形导轨壳(201)的底面两侧处均固定连接有支撑脚(202),所述支撑脚(202)固定设置在固定底座(1)的上表面处,所述矩形导轨壳(201)的内部设置有内腔,所述矩形导轨壳(201)的内腔处滑动连接有移动座(203),所述移动座(203)与矩形导轨壳(201)的外壁之间滑动配合,所述矩形导轨壳(201)的内腔两侧侧壁之间转动连接有螺纹杆(205),所述螺纹杆(205)贯穿移动座(203)且与移动座(203)之间螺纹配合,所述矩形导轨壳(201)的一端处固定安装有伺服电机A(204),所述伺服电机A(204)的输出轴末端延伸至矩形导轨壳(201)的内腔中,所述伺服电机A(204)的输出末端与螺纹杆(205)之间固定连接; 所述挤压部(5)包括固定套杆(501)、移动套杆(502)、挤压块A(503)和控制弹簧(504),所述固定套杆(501)固定设置在移动座(203)的侧壁位置处,所述固定套杆(501)的内腔中滑动连接有移动套杆(502),所述固定套杆(501)的内腔一侧处固定连接有控制弹簧(504)的一端,所述控制弹簧(504)的另一端延伸至移动套杆(502)的内壁处且与移动套杆(502)之间固定连接,所述移动套杆(502)的一端处固定连接有挤压块A(503),所述挤压块A(503)的两侧处均设置有斜面。
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