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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119934438B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510432151.2，技术领域涉及：F17D1/08；该发明授权化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质是由陶泽魏;胡海波;张晓燕设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质。化学液供应系统包括第一供应部和控制部，第一供应部包括储液槽、进液管路、第一循环管路、加热器、第一排放管路、冲洗管路和检测装置，进液管路用于向储液槽通入化学液；第一循环管路连接储液槽的进口和出口；加热器设置于第一循环管路；第一排放管路与第一循环管路连接，冲洗管路用于在储液槽和加热器中的化学液从第一排放管路排放后，向储液槽通入冲洗液；检测装置用于检测储液槽和或第一循环管路中的工艺参数；控制部分别与进液管路、冲洗管路和检测装置通信连接，用于根据检测装置检测到的工艺参数控制进液管路或冲洗管路的通断。本申请能够实现排放以便换液并预防泄露。

本发明授权化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质在权利要求书中公布了：1.一种化学液供应系统，其特征在于，包括第一供应部和控制部，所述第一供应部包括： 储液槽，用于储存化学液； 出液管路，用于将所述储液槽中的化学液供应至腔室； 进液管路，用于向所述储液槽通入化学液； 第一循环管路，连接所述储液槽的进口和出口； 加热器，设置于所述第一循环管路； 第一排放管路，与所述第一循环管路连接，用于排放所述储液槽和所述加热器中的化学液； 冲洗管路，用于在所述储液槽和所述加热器中的化学液从所述第一排放管路排放后，向所述储液槽通入冲洗液，以使冲洗液依次冲洗所述储液槽和所述第一循环管路；以及 检测装置，用于检测所述储液槽和或所述第一循环管路中的工艺参数，所述工艺参数包括温度值和或压力值；其中， 所述控制部分别与所述进液管路、所述冲洗管路和所述检测装置通信连接，所述控制部用于在向所述储液槽通入化学液和向所述储液槽通入冲洗液的过程中根据所述检测装置检测到的所述工艺参数控制所述进液管路或所述冲洗管路的通断。

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