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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种真空蒸镀机的加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119900003B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510282260.0，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权一种真空蒸镀机的加热装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空蒸镀机的加热装置在说明书摘要公布了：本发明提出一种真空蒸镀机的加热装置，包括腔体，腔体由顶板、围板、底板围设而成，围板内侧设有侧壁防着板，侧壁防着板围绕腔体上部一圈设置，顶板下方设有第一防着板，第一防着板的外边缘与侧壁防着板的顶部连接，第一防着板与侧壁防着板上设有加热装置，加热装置包括多根第一加热丝和多根第二加热丝，第一加热丝均匀密布于第一防着板的底面，第二加热丝均匀密布于侧壁防着板的内壁，同一根加热丝的正负极连接一组接线端子的正负极，第一防着板顶部设有多组接线端子，将第一加热丝、第二加热丝加热到一定温度产生热辐射从而对基片进行加热，避免光污染的同时使得加热更均匀，且不影响基板透光率的检测。

本发明授权一种真空蒸镀机的加热装置在权利要求书中公布了：1.一种真空蒸镀机的加热装置，包括腔体，所述腔体由顶板（11）、围板（12）、底板（13）围设而成，所述围板（12）内侧设有侧壁防着板（3），所述侧壁防着板（3）围绕腔体上部一圈设置，所述顶板（11）下方设有第一防着板（2），所述第一防着板（2）的外边缘与侧壁防着板（3）的顶部连接，其特征在于：所述第一防着板（2）与侧壁防着板（3）上设有加热装置，所述加热装置包括多根第一加热丝（22）和多根第二加热丝（31），所述第一加热丝（22）均匀密布于第一防着板（2）的底面，所述第二加热丝（31）均匀密布于侧壁防着板（3）的内壁，每根所述第一加热丝（22）、第二加热丝（31）均为一端为正极、另一端为负极的连续的首尾相接的S型，同一根加热丝的正负极连接一组接线端子（5）的正负极，所述第一防着板（2）顶部设有多组接线端子（5），将第一加热丝（22）、第二加热丝（31）加热到一定温度产生热辐射从而对基片进行加热，避免光污染的同时使得加热更均匀，且不影响基板透光率的检测，多根所述第一加热丝（22）均匀等分为以第一防着板（2）的圆心为中心的多个扇形排列，每根第一加热丝（22）的S型为等分的扇形，第一加热丝（22）的面积相对第二加热丝（31）的面积减小，密集程度增强，用于弥补腔体顶部较大温差，第一防着板（2）上靠近每根第一加热丝（22）正极处设有第一接线孔（23），靠近每根第一加热丝（22）负极处设有第二接线孔（24），所述第一加热丝（22）的正极和负极穿过第一接线孔（23）、第二接线孔（24）连接相应的接线端子（5），多根所述第二加热丝（31）的S型整体呈上下等宽的矩形，侧壁防着板（3）的靠近第二加热丝（31）正极处设有第三接线孔（32），侧壁防着板（3）的靠近第二加热丝（31）负极处设有第四接线孔（33），所述第二加热丝（31）的正极和负极穿过第三接线孔（32）、第四接线孔（33）连接相应的接线端子（5），上下相邻的两行第二加热丝（31）上间隔均匀设有多个加热丝固定片（34），所述加热丝固定片（34）通过螺丝连接于侧壁防着板（3）上，所述第一防着板（2）的上方设有第二防着板（4），顶板（11）上的每个通孔处连接一个法兰（6），所述法兰（6）上方围设有一圈压块（61），每个压块（61）连接一根加热丝的正极或负极，所述法兰（6）中部设有环形水道，法兰（6）的中部上方设有第一冷却管（7），通过第一冷却管（7）通冷却水给接线端子（5）降温。

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