苏州熹联光芯微电子科技有限公司王安鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州熹联光芯微电子科技有限公司申请的专利光栅耦合器和光学芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119717131B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510239776.7,技术领域涉及:G02B6/124;该发明授权光栅耦合器和光学芯片是由王安鑫;王根成;马庆艳设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本光栅耦合器和光学芯片在说明书摘要公布了:本申请涉及光栅耦合器技术领域,特别是涉及一种光栅耦合器和光学芯片。光栅耦合器包括:衬底;反射光栅结构,位于衬底的一侧,反射光栅结构包括多个间隔设置的第一光栅单元;传输光栅结构,位于反射光栅结构远离衬底的一侧,传输光栅结构包括多个间隔设置的第二光栅单元,至少部分所述第一光栅单元与所述第二光栅单元对应设置。本申请通过设置至少部分第一光栅单元与第二光栅单元对应设置,从而在形成传输光栅结构时,相邻的第二光栅单元之间没有残留物,以使得第二光栅单元刻蚀较干净,因而提升光栅耦合器的方向性和耦合效率。具体的,本申请中可以设置至少部分第一光栅单元在衬底上的正投影位于第二光栅单元在衬底上的正投影内。
本发明授权光栅耦合器和光学芯片在权利要求书中公布了:1.一种光栅耦合器,其特征在于,包括: 衬底; 反射光栅结构,位于所述衬底的一侧,所述反射光栅结构包括多个间隔设置的第一光栅单元; 传输光栅结构,位于所述反射光栅结构远离所述衬底的一侧,所述传输光栅结构包括多个间隔设置的第二光栅单元,至少部分所述第一光栅单元与所述第二光栅单元对应设置,至少部分所述第一光栅单元的横截面积小于所述第二光栅单元的横截面积; 第一上包层,覆盖所述反射光栅结构,且填充至相邻所述第一光栅单元之间,以使得所述反射光栅结构与所述传输光栅结构间隔,所述第一光栅单元以第一周期排布,所述第二光栅单元以第二周期排布,所述第一周期与所述第二周期相等。
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