珠海基石科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海基石科技有限公司申请的专利一种粒子及其分散液、平整化组合物及其应用、半导体器件及其用基底的平整化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119736068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510130077.9，技术领域涉及：C09K3/14；该发明授权一种粒子及其分散液、平整化组合物及其应用、半导体器件及其用基底的平整化方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种粒子及其分散液、平整化组合物及其应用、半导体器件及其用基底的平整化方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种粒子及其分散液、平整化组合物及其应用、半导体器件及其用基底的平整化方法。该粒子为表面成型有多个凸起的球形或类球形氧化铈颗粒，且该粒子由多个晶粒构成，多个晶粒中至少包括粒径大于或等于15nm的晶粒。满足上述条件的氧化铈粒子对基底表面材料的去除速率较高且不会在基底表面造成明显划痕。
本发明授权一种粒子及其分散液、平整化组合物及其应用、半导体器件及其用基底的平整化方法在权利要求书中公布了：1.一种粒子，其特征在于，所述粒子为氧化铈粒子，所述氧化铈粒子为球形或类球形颗粒，所述球形或类球形颗粒的表面成型有多个凸起，所述凸起的平均宽度大于10nm，所述表面成型有多个凸起的球形或类球形颗粒由多个晶粒构成，且多个所述晶粒中至少包括粒径在15nm-50nm的范围内的晶粒，基于电子显微镜照片测得所述氧化铈粒子的平均颗粒粒径与基于所述氧化铈粒子的比表面积换算得到的理论平均尺寸之比在1.5-4.5的范围内。
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