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龙图腾网获悉若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种药液回收设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411966017.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种药液回收设备是由崔建举;徐东波;余涛;庞金元;成镓伟设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种药液回收设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种药液回收设备，包括旋转台；药液槽沿着旋转台的外周向分布，药液槽的底部设有外出液口；安装架设置在药液槽的下方，安装架上设有竖向设置的导向线轨；内分流罩设置在旋转台和药液槽之间，并能通过内驱动部主动的在导向线轨内上下升降；外分流罩设于内分流罩和药液槽之间，并能通过外滑动部在导向线轨内上下升降，外滑动部位于内驱动部的上方；两个限位部分别设置在安装架的两侧；推动部件设于内分流罩的两侧。本发明通过增设与内风流罩相连的升降电机，然后由推动部件和限位部配合，使得内分流罩和外分流罩能分别构成用于药液回收的独立通道，实现单驱动力对两种药液的独立回收，成本较低，易于控制调整，结构紧凑，占用面积小。

本发明授权一种药液回收设备在权利要求书中公布了：1.一种药液回收设备，其特征在于，包括： 旋转台1，所述旋转台1上具有用于夹持晶圆16的定位PIN17； 药液槽4，沿着所述旋转台1的外周向分布，所述药液槽4的底部设有外出液口10； 安装架7，设置在所述药液槽4的下方，所述安装架7上设有竖向设置的导向线轨8； 内分流罩5，设置在所述旋转台1和所述药液槽4之间，所述内分流罩5通过内驱动部2能够主动的在所述导向线轨8内上下升降，用以引导药液沿着内分流罩5的方向流出； 外分流罩9，设于所述内分流罩5和所述药液槽4之间，所述外分流罩9通过外滑动部3能够在所述导向线轨8内上下升降，用以引导药液沿着所述内分流罩5和外分流罩9之间的间隙流出，其中，所述外滑动部3位于所述内驱动部2的上方； 限位部13，两个所述限位部13分别设置在所述安装架7的两侧； 推动部件12，设于所述内分流罩5的两侧，并且与所述限位部13相对应设置； 其中，当所述内驱动部2驱动内分流罩5沿着导向线轨8上升时，所述内驱动部2同步带动所述外滑动部3沿着导向线轨8上升，外滑动部3带动外分流罩9同步上升，当所述内分流罩5的上表面高于晶圆16的位置时，喷淋的药液在晶圆16旋转离心力的作用下沿着内分流罩5的引导由内出液口11进行回收，此时所述推动部件12跟随内分流罩5随动上升后推动限位部13对外分流罩9在导向线轨8上的升降距离进行限位； 当所述内驱动部2驱动内分流罩5沿着导向线轨8下降时，所述内分流罩5复位，所述外分流罩9由于自身的重力下降至所述限位部13的最低限位位置，此时所述晶圆16位于所述内分流罩5和外分流罩9之间，喷淋的药液在晶圆16旋转离心力的作用下沿着所述内分流罩5和外分流罩9之间的间隙流出后由所述外出液口10进行回收； 当药液回收完成后，所述内驱动部2带动所述内分流罩5再次上升，此时推动部件12再次推动限位部13后解除限位部13对外分流罩9的限位，然后所述内驱动部2驱动内分流罩5下移，所述外分流罩9由于自身重力复位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇恬庄村第二十四组100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。