昆山新莱洁净应用材料股份有限公司郭卫强获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山新莱洁净应用材料股份有限公司申请的专利一种门阀及半导体处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223203726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422675588.2,技术领域涉及:F16K3/02;该实用新型一种门阀及半导体处理装置是由郭卫强;诸亚明设计研发完成,并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种门阀及半导体处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空腔密封技术领域,特别涉及了一种门阀及半导体处理装置。该门阀包括阀体、驱动部、阀杆、密封板、连接部及偏摆部,阀杆设置于阀体的内部,并经阀体的出口延伸至阀体的外部;密封板设置于阀杆的一端;在驱动部及连接部的配合作用下能够带动阀杆滑动,从而能够使密封板移动至与开口正对的位置,当阀杆处于行程末端时,在偏摆部的作用下,能够使阀杆与偏摆部连接的一端在阀杆的行程末端处,沿背离开口的方向偏摆,此时,密封板在偏摆部的作用下能够朝开口的方向偏摆,以增加密封板与开口之间的密封性。
本实用新型一种门阀及半导体处理装置在权利要求书中公布了:1.一种门阀,用于对真空腔100的开口110进行密封,其特征在于,包括: 阀体1,开设有出口11; 驱动部2,设置于所述阀体1的内部; 阀杆3,设置于所述阀体1的内部,并经所述出口11延伸至所述阀体1的外部,所述出口11与所述阀杆3之间存在间隙; 密封板4,设置于所述阀杆3的一端; 连接部5,设置于所述驱动部2与所述阀杆3之间,以使所述阀杆3能够沿其自身轴向滑动,并将所述密封板4移动至与所述开口110正对的位置; 偏摆部6,与所述阀杆3背离所述密封板4的一端连接,以使所述阀杆3与所述偏摆部6连接的一端在所述阀杆3的行程末端处沿背离所述开口110的方向偏摆。
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