杭州富芯半导体有限公司苏文华获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利低温泵和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223203190U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422663601.2，技术领域涉及：F04B37/08；该实用新型低温泵和半导体设备是由苏文华;李振雨设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本低温泵和半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种低温泵和半导体设备，该低温泵包括泵体、隔离阀体以及设于泵体内的多组低温单元；多组低温单元沿泵体的内周周向设置，多组低温单元能够彼此独立地与制程腔相连通，以吸附制程腔内的气体；隔离阀体设置于泵体的顶部，且隔离阀体能够沿泵体的内周周向转动，以将对应的低温单元与制程腔相隔离，从而使得与制程腔相隔离的低温单元能够进行再生。本实用新型可以实现低温泵在工作过程中的自我再生，保证半导体设备机台可以不间断地工作，提高半导体设备机台的生产效率。
本实用新型低温泵和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种低温泵，其特征在于，包括泵体、隔离阀体以及设于所述泵体内的多组低温单元； 所述多组低温单元沿所述泵体的内周周向设置，所述多组低温单元能够彼此独立地与制程腔相连通，以吸附所述制程腔内的气体； 所述隔离阀体设置于所述泵体的顶部，且所述隔离阀体能够沿所述泵体的内周周向转动，以将对应的所述低温单元与所述制程腔相隔离，从而使得与所述制程腔相隔离的所述低温单元能够进行再生。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号