东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223203688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422635332.9，技术领域涉及：F16J15/3284；该实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构，其包括，基座、侧向安装于基座一侧的驱动缸以及设于驱动缸活塞轴上并位于基座另一侧的修正组件，活塞轴穿过基座上的轴套筒，且轴套筒与活塞轴之间紧配安装有两真空轴套组件，两真空轴套组件分别位于轴套筒的两端。通过在轴套筒内设置可相互插接的柔性胀紧环和压紧环，并在压紧环远离柔性环的一端设置相抵触的刚性套环，随刚性套环对压紧环的挤压，使柔性胀紧环形变扩展，两侧壁抵触轴套筒内壁以及活塞轴外壁，以强化轴套筒的密封效果。另外压紧环还能对活塞轴形成支撑导向，使活塞轴径向移动时不容易出现抖动，并减少活塞轴弯曲、断裂的可能性。
本实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构在权利要求书中公布了：1.一种应用于溅射镀膜设备中的稳固型真空驱动机构，包括基座（10）、侧向安装于基座一侧的驱动缸（20）以及设于驱动缸活塞轴（21）上并位于基座（10）另一侧的修正组件（1），其特征在于： 所述活塞轴穿过基座（10）上的轴套筒（30），且轴套筒（30）与活塞轴（21）之间紧配安装有两真空轴套组件（40），两真空轴套组件（40）分别位于轴套筒（30）的两端； 各所述真空轴套组件（40）均包括位于轴套筒（30）内腔（301）开口处的刚性套环（41）、贴于刚性套环（41）内壁的压紧环（42）以及贴于压紧环（42）内壁的柔性胀紧环（43），所述刚性套环（41）和所述压紧环（42）挤压所述柔性胀紧环（43）形变。
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