苏州国微纳半导体设备有限公司庞浩楠获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州国微纳半导体设备有限公司申请的专利一种方便安装维护的半导体设备排气机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223203938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422633559.X，技术领域涉及：F16L23/032；该实用新型一种方便安装维护的半导体设备排气机构是由庞浩楠;陈以国;陈睿;孟晓燕设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种方便安装维护的半导体设备排气机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体设备排气技术领域的一种方便安装维护的半导体设备排气机构，包括连接机构，连接机构包括三通管件，三通管件的一侧安装有排气管，三通管件的一端连接有左管路，三通管件远离左管路的一端连接有右管路，三通管件与左管路、右管路之间还分别设置有弹性密封件，该设计采用了第一连接法兰安装在第一排气支管的一端，并在三通管件两侧分别设置了第二连接法兰，第二连接法兰与第一连接法兰的结构相同，均包含法兰孔和环形密封槽，因此可以方便地根据实际使用情况对连接机构、左管路和右管路进行拆装、连接及维修，同时，该排气机构还可以对连接机构的安装角度进行旋转调整，从而实现对排气管排气端口方位的变更调整。
本实用新型一种方便安装维护的半导体设备排气机构在权利要求书中公布了：1.一种方便安装维护的半导体设备排气机构，包括连接机构（1），所述连接机构（1）包括三通管件（2），其特征在于：所述三通管件（2）的一侧安装有排气管（3），所述三通管件（2）的一端连接有左管路（4），所述三通管件（2）远离左管路（4）的一端连接有右管路（5），所述三通管件（2）与左管路（4）、右管路（5）之间还分别设置有弹性密封件（6）； 所述弹性密封件（6）包括两组橡胶外壳（7），两组所述橡胶外壳（7）之间设置有环形橡胶板（8），两组所述橡胶外壳（7）的内侧均开设有伸缩调节槽（9），所述伸缩调节槽（9）与环形橡胶板（8）结构相匹配，所述伸缩调节槽（9）与环形橡胶板（8）之间还连接有若干组圆周阵列分布的压缩弹簧（10）。
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