无锡芯汉电子科技有限公司唐建成获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯汉电子科技有限公司申请的专利刻蚀机终点检测系统用滤光片组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205706U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422619491.X，技术领域涉及：G02B7/00；该实用新型刻蚀机终点检测系统用滤光片组件是由唐建成设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀机终点检测系统用滤光片组件在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种刻蚀机终点检测系统用滤光片组件，涉及刻蚀机领域，包括具有圆柱通孔的壳体、圆柱形的滤光片和圆环状的卡簧；壳体的圆柱通孔的口部设置有圆环挡板；壳体的圆柱通孔内壁开设有圆环形的凹槽；卡簧的圆环外径与凹槽的圆环外径相等；卡簧的圆环内径长度小于壳体的圆柱通孔直径；卡簧可拆卸固定在凹槽内；滤光片设置在卡簧与圆环挡板之间；滤光片的两个圆柱底面分别抵靠卡簧与圆环挡板固定。本实用新型提供的刻蚀机终点检测系统用滤光片组件，解决了现有技术中滤光片容易角度偏移甚至脱落的问题，可以使得滤光片被稳定固定。
本实用新型刻蚀机终点检测系统用滤光片组件在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机终点检测系统用滤光片组件，其特征在于，包括具有圆柱通孔的壳体、圆柱形的滤光片和圆环状的卡簧； 所述壳体的圆柱通孔的口部设置有圆环挡板；所述圆环挡板的板面垂直于所述壳体的圆柱通孔的孔轴；所述圆环挡板的圆环内径小于所述壳体的圆柱通孔直径； 所述壳体的圆柱通孔内壁开设有圆环形的凹槽；所述凹槽的圆环轴线与所述壳体的圆柱通孔轴线同轴；所述卡簧的圆环外径与所述凹槽的圆环外径相等；所述卡簧的圆环内径长度小于所述壳体的圆柱通孔直径；所述卡簧可拆卸固定在所述凹槽内； 所述卡簧固定在所述凹槽内时；所述圆环挡板与所述凹槽之间的距离，与所述滤光片的圆柱高的长度相等； 所述滤光片的圆柱直径与所述壳体的圆柱通孔的直径相等；所述滤光片的圆柱轴线与所述壳体的圆柱通孔孔轴重合；所述滤光片设置在所述卡簧与所述圆环挡板之间。
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