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龙图腾网获悉威海奥牧智能科技有限公司申请的专利一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118983248B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411472133.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置及清洗方法是由马磊;钟永良;张钦洋设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件制造处理领域，具体是一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置及清洗方法，所述基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置包括控制柜及设于所述控制柜上的箱体，还包括：横台，转动安装在所述箱体中，用于放置待清洗的晶圆，且所述横台上设有多个用于对晶圆进行限位的稳固机构，所述横台的转动轴与安装在所述箱体中的变速驱动机构连接，所述变速驱动机构能够以不同转速驱使所述横台旋转；本装置能够将清洗与冲洗功能集为一体，且喷射介质由清洗液切换为超纯水时，晶圆的旋转速度能够自动提升，避免了因清洗与冲洗处理的要求不同而需要分不同设备进行的问题，简化了芯片的生产流程。

本发明授权一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基于无脉冲泵供液的芯片清洗装置，其特征在于，包括控制柜、设于控制柜上的箱体；横台，转动安装在箱体中，用于放置待清洗的晶圆，横台上设有多个用于对晶圆进行限位的稳固机构，横台的转动轴与安装在箱体中的变速驱动机构连接，变速驱动机构以不同转速驱使横台旋转；螺纹配合机构，安装于箱体中，与变速驱动机构连接，螺纹配合机构还连接有介质切换机构，箱体中设有用于向晶圆上喷射清洗液或超纯水的泵液机构； 螺纹配合机构包括转动安装在箱体中的第二丝杆、设于第二丝杆上并与第二丝杆螺纹配合的第二滑块以及安装在箱体中的第二驱动电机；第二丝杆的一端连接第二驱动电机的输出端，另一端与介质切换机构连接，第二滑块上还固定设有驱动柱，驱动柱与变速驱动机构连接；变速驱动机构包括安装在箱体中与横台转动轴连接的双向配合组件、连接双向配合组件的圆周转动组件以及与驱动柱连接的从动结构，当介质切换机构触发时，驱动柱促使从动结构运动；泵液机构包括安装在箱体中的泵体，泵体的出液口连接有喷液管，进液口连接有进液管，进液管通过介质切换机构连接有第一管道与第二管道，第一管道与第二管道分别用于泵送清洗液与超纯水；介质切换机构包括转动安装在箱体中的导管以及固定于箱体中的球壳，第一管道和第二管道与球壳连通，导管的一端与进液管密封转动连接，另一端与设于球壳内部的球体固定；球体的外壁与球壳的内壁密封滑动贴合，导管与设于球体内的“L”形通路连通，导管还通过角度变换结构与第二滑块连接;清洗时，螺纹配合机构促使介质切换机构触发，使得泵液机构喷射的介质由清洗液切换为超纯水，变速驱动机构促使横台的旋转增速，实现清洗与冲洗功能集为一体。

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