南京孚克讯新材料有限公司詹军获国家专利权
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龙图腾网获悉南京孚克讯新材料有限公司申请的专利一种便于清洗的腐蚀槽结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206238U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422534262.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种便于清洗的腐蚀槽结构是由詹军设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于清洗的腐蚀槽结构在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供的一种便于清洗的腐蚀槽结构，涉及晶元加工技术领域，包括槽体，所述槽体的内部设置有腐蚀框，腐蚀框悬挂布置在槽体内侧设置的摇摆单元内侧，摇摆单元包括移动架和设置在移动架内侧的滑动杆，滑动杆的中部固定安装有摇摆架，摇摆架的中部活动安装有偏心桩，偏心桩的下端固定安装在偏心桩底部的旋转盘上端，将待腐蚀的晶片倒入腐蚀框中浸泡，浸泡时可通过驱动电机带动旋转盘进行旋转，上端安装的偏心桩带动摇摆架进行往复移动，进而带动两侧固定安装的移动架进行往复移动，进而带动内侧挂装的腐蚀框进行左右摇摆晃动，防止晶片浮在面上，使其摊开与腐蚀液接触，便于腐蚀操作的进行。
本实用新型一种便于清洗的腐蚀槽结构在权利要求书中公布了：1.一种便于清洗的腐蚀槽结构，其特征在于，包括： 槽体，所述槽体的内部设置有腐蚀框，所述腐蚀框悬挂布置在槽体内侧设置的摇摆单元内侧，所述摇摆单元分别布置在腐蚀框的两侧； 摇摆单元，所述摇摆单元包括移动架和设置在移动架内侧的滑动杆，所述滑动杆的中部固定安装有摇摆架，所述摇摆架的中部活动安装有偏心桩，所述偏心桩的下端固定安装在偏心桩底部的旋转盘上端，且所述旋转盘的下端与驱动电机输出端相连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京孚克讯新材料有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市栖霞区栖霞街道十月公社科技创业园内S09厂房五楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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