宣城华晟光伏科技有限公司叶飞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宣城华晟光伏科技有限公司申请的专利磁控溅射靶材及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223201906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422532198.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射靶材及磁控溅射装置是由叶飞;王金;余义设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射靶材及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种磁控溅射靶材及磁控溅射装置，涉及磁控溅射技术领域。该磁控溅射靶材包括：支撑件和靶材本体；其中，支撑件沿第一方向延伸；靶材本体绕设于支撑件的径向周侧；径向与第一方向垂直；靶材本体包括沿第一方向排布的基础段、两个过渡段和两个减薄段；两个过渡段分别设置在基础段的两侧，两个减薄段分别对应设置在各过渡段背离基础段的一侧；过渡段的最小径向厚度大于基础段的径向厚度，减薄段的最大径向厚度小于过渡段的最大径向厚度。本申请实施例的磁控溅射靶材通过设置减薄段，减薄段的最大径向厚度小于过渡段的最大径向厚度，使得减薄段的刻蚀难度降低，从而能够被正常刻蚀，进而提升靶材本体的材料利用率。
本实用新型磁控溅射靶材及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射靶材，包括沿第一方向延伸的支撑件100，其特征在于，还包括： 靶材本体200，绕设于所述支撑件100的径向周侧；所述径向与所述第一方向垂直；其中， 所述靶材本体200包括沿所述第一方向排布的基础段210、两个过渡段220和两个减薄段230；两个所述过渡段220分别设置在所述基础段210的两侧，两个所述减薄段230分别对应设置在各所述过渡段220背离所述基础段210的一侧；所述过渡段220及所述减薄段230的径向厚度沿所述第一方向渐变，所述基础段210的径向厚度沿所述第一方向保持恒定；所述过渡段220的最小径向厚度大于所述基础段210的径向厚度，所述减薄段230的最大径向厚度小于所述过渡段220的最大径向厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宣城华晟光伏科技有限公司，其通讯地址为：242000 安徽省宣城市飞彩办事处清流路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号