上海积塔半导体有限公司高壘获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶及扫描手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223205069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422532045.5，技术领域涉及：G01M3/20；该实用新型一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶及扫描手臂是由高壘;郑永哲;李纪翔设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶及扫描手臂在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶及扫描手臂，旨在解决现有技术中无法对扫描手臂进行有效测漏的难题；该治具包括测漏桶、固定盖、密封盖，能够针对扫描手臂的各个关节进行独立检测；固定盖安装于被测关节处，通过密封圈实现高效密封，测漏桶与固定盖的另一端连接，并通过密封盖完成密封结构的闭合；通过该治具配合外部检漏机，可以快速检测出扫描手臂的真空泄漏点，从而减少不必要的整体更换，降低维护成本，提高设备运行的效率与可靠性；本实用新型结构简单、测试性能可靠，适用于离子注入机的高真空环境下的扫描手臂测漏操作。
本实用新型一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶及扫描手臂在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入机靶盘扫描手臂的测漏桶，其特征在于，包括： 测漏桶桶身，所述测漏桶桶身两侧敞口； 固定盖，所述固定盖通过可拆卸结构连接于待测扫描手臂关节处； 密封盖； 所述测漏桶桶身远端与所述固定盖通过密封结构连接，近端与所述密封盖通过密封结构连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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