上海普达特半导体设备有限公司韩晗获国家专利权
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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利晶圆卡爪结构及晶圆卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206262U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422487316.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆卡爪结构及晶圆卡盘是由韩晗;黄允文;张纲;王蔚成;严必明设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆卡爪结构及晶圆卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆卡爪结构及晶圆卡盘，包括连接杆、传动件、转轴、承载台及卡爪。其中，传动件固定于连接杆的一端；转轴固定于连接杆远离传动件的一端；承载台固定于转轴远离连接杆的一端，承载台呈锥状，以提供用以承载晶圆的倾斜锥面；卡爪固定于转轴远离连接杆的一端，且卡爪位于承载台的侧边，通过传动件沿第一方向或与之相反的第二方向旋转指定夹角，使卡爪同步运行，以对晶圆进行夹持或释放。本实用新型可提供一种结构简单、操作便捷性强、夹持牢固的晶圆卡爪结构及晶圆卡盘，且可避免对晶圆背面的损伤。
本实用新型晶圆卡爪结构及晶圆卡盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡爪结构，其特征在于，所述晶圆卡爪结构包括： 连接杆； 传动件，所述传动件固定于所述连接杆的一端； 转轴，所述转轴固定于所述连接杆远离所述传动件的一端； 承载台，所述承载台固定于所述转轴远离所述连接杆的一端，所述承载台呈锥状，以提供用以承载晶圆的倾斜锥面； 卡爪，所述卡爪固定于所述转轴远离所述连接杆的一端，且所述卡爪位于所述承载台的侧边，通过所述传动件沿第一方向或与之相反的第二方向旋转指定夹角，使所述卡爪同步运行，以对晶圆进行夹持或释放。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海普达特半导体设备有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1387号33幢101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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